本发明公开了一种由10‑O‑乙酰
异水菖蒲二醇合成的可降解型光刻胶
树脂单体及其合成方法,涉及光刻胶
树脂单体领域,其结构式为所示:其中R为氢或者甲基,其合成方法为:10‑O‑乙酰
异水菖蒲二醇Ⅰ中的酯基
水解,再将体系调成酸性得到中间体Ⅱ;在催化剂a催化下,中间体Ⅱ的不饱和碳碳双键与
氢气进行加成反应得到中间体Ⅲ;中间体Ⅲ与另一反应底物经酯化反应后生成目标
树脂单体Ⅳ。本发明提供了一种新的光刻胶
树脂单体,具有更好的耐刻蚀性能,增加了耐刻蚀性能,增加了曝光后
树脂在显影液中的溶解性,有利于改善显影后图形的边缘粗糙度,大大提高了显影后图形的分辨率。