申请人:ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨(520040024286)
公开号:KR101525420B1
公开(公告)日:2015-06-03
화학식 (I)을 갖는 화합물: 상기 식에서, R1은 각각 독립적으로 H 또는 인접 R1에 임의로 결합된, 치환되거나 미치환된 C1-30 지방족 그룹이고, R2 및 R3는 각각 독립적으로 H, F, C1-10 알킬, C1-10 플루오로알킬, C3-10 사이클로알킬 또는 C3-10 플루오로사이클로알킬이며(여기에서 적어도 하나의 R2 및/또는 R3는 F를 함유한다), L1, L2 및 L3는 각각 독립적으로 단일 결합, 또는 임의로 락톤 그룹을 포함하는 C1-20 결합 그룹이며(여기에서하나 이상의 L1, L2 및 L3는 임의로 고리 구조를 형성하고, 하나 이상의 L1, L2 및 L3는 폴리머화 C2-20 알파-베타 불포화 유기그룹으로 임의로 치환된다), X는 에테르, 에스테르, 카보네이트, 아민, 아미드, 우레아, 설페이트, 설포네이트, 또는 설폰아미드 함유 그룹이고, Z+는 유기 또는 무기 양이온이고, a는 각각 독립적으로 0 내지 12의 정수이고, b는 0 내지 5의 정수이며, c, d, 및 r은 각각 독립적으로 0 또는 1이며, p는 0 내지 10의 정수이고, q는 1 내지 10의 정수이다. 포토레지스트는 포토애시드 발생제를 포함하고 코팅된 물품은 포토레지스트를 포함한다. 포토레지스트를 사용하여 장비를 형성할 수 있다.
具有化学式(I)的化合物:在上述式中,R1分别独立地是H或与相邻的R1随机连接的,取代或未取代的C1-30烷基基团,R2和R3分别独立地是H,F,C1-10烷基,C1-10氟烷基,C3-10环烷基或C3-10氟环烷基(其中至少一个R2和/或R3包含F),L1,L2和L3分别独立地是单键或包含随机环状基团的C1-20连接基团(其中一个或多个L1,L2和L3随机形成环结构,一个或多个L1,L2和L3随机被取代为聚合C2-20α-β不饱和有机基团),X是醚,酯,碳酸酯,胺,酰胺,脲,磷酸酯,磺酞,磺酰胺基团,Z+是有机或无机阳离子,a分别独立地是0到12的整数,b是0到5的整数,c,d和r分别独立地是0或1,p是0到10的整数,q是1到10的整数。感光剂包含感光酸发生剂,涂层物品包含感光剂。可以使用感光剂形成设备。