Chemically Conformal ALD of SrTiO[sub 3] Thin Films Using Conventional Metallorganic Precursors
作者:Oh Seong Kwon、Seong Keun Kim、Moonju Cho、Cheol Seong Hwang、Jaehack Jeong
DOI:10.1149/1.1869292
日期:——
SrTiO 3 (STO) thin films were grown on Si wafer, Pt- and Ru-coated Si wafers, respectively, by an atomic layer deposition (ALD) technique using conventional metallorganic precursors, Sr(C 1 1 H 1 9 O 2 ) 2 (Sr(thd) 2 ) and Ti(Oi-C 3 H 7 ) 4 (TTIP) as Sr- and Ti-precursors, respectively, with a remote-plasma activated H 2 O vapor as the oxidant at a wafer temperature of 250°C. Patterned Si wafers with
SrTiO 3 (STO) 薄膜分别通过原子层沉积 (ALD) 技术使用常规金属有机前体 Sr(C 1 1 H 1 9 O 2 ) 2 在 Si 晶片、Pt 和 Ru 涂层的 Si 晶片上生长(Sr(thd) 2 ) 和 Ti(Oi-C 3 H 7 ) 4 (TTIP) 分别作为 Sr- 和 Ti- 前体,在 250 摄氏度的晶片温度下使用远程等离子体激活的 H 2 O 蒸气作为氧化剂℃。使用具有直径为 0.13 和 1 μm 深度(纵横比为 8)的接触孔的图案化硅晶片,以测试接触孔表面上的薄膜厚度和阳离子组成共形性。STO 膜的 ALD 行为严重依赖于 Sr(thd) 2 源加热温度。当 Sr 源温度约为 200°C 时。这种困难导致沿接触孔的阳离子组成比不均匀。