(Ba, Sr)TiO 3 (BST) 薄膜通过低压
金属有机
化学气相沉积使用 Ba(C 11 H 19 O 2 ) 2 [Ba(
TMHD) 2 ], Sr( C 11 H 19 O 2 ) 2 [Sr(
TMHD) 2 ]和Ti(OiC 2 H 7 ) 4 。系统地研究了沉积参数对薄膜生长特性的影响。随着[Ba + Sr]/[Ti]比从0.8增加到1.2,BST薄膜的晶粒形状从圆形变为三角形,晶粒尺寸和表面粗糙度增加。通过脉冲注入沉积的 BST 薄膜的介电常数略高于连续沉积的 BST 薄膜。此外,泄漏电流降低了一个数量级。脉冲 BST 薄膜电性能的改善似乎源于脉冲沉积过程中更好的结晶度和更少的碳污染。35 nm 厚的 Ba 0.35 Sr 0.65 TiO 3 薄膜在 550°C 下通过脉冲注入沉积并在 600°C 下在 O 2 气氛中进行 30 分钟的后退火显示出 0.64 nm 的氧化物等效厚度,1