reactor parameters. In all cases, the CdTe deposition rate was found to be closely related to the decomposition of dimethylcadmium. A model is presented to explain the CdTe growth at low temperatures where diethyltelluride is very stable. The growth of CdTe, using diethyltelluride and elemental cadmium, was demonstrated and supports the model. The growth rate of CdTe was studied as a function of the partial
本文介绍了一些实验结果,以解释通过有机
金属气相外延 (OMVPE) 生长 CdTe 的机制。二甲基
镉 (
DMCd) 的热解研究在 OMVPE 反应器中进行,温度范围为 230/sup 0/-400/sup 0/C。发现二甲基
镉在大约 230/sup 0/C 以上分解并且反应在 230/sup 0/C 到 370/sup 0/C 之间是非均相的。还在从 300/sup 0/ 到 375/sup 0/C 的温度范围内以及针对各种反应器参数研究了 CdTe 的生长。在所有情况下,发现 CdTe 沉积速率与二甲基
镉的分解密切相关。提出了一个模型来解释
碲化物非常稳定的低温下的 CdTe 生长。CdTe 的生长,使用
二乙基碲化物和元素
镉,被证明并支持该模型。研究了 CdTe 的生长速率作为
DMCd 和 DETe 分压的函数,并根据该生长模型解释了结果。