7-tert-butoxycarbonyl-2-oxohexahydro-3,5-methano-2H-cyclopenta[b]furan-6-yl 2-(methacryloyloxy)-acetate | 1004532-12-0

• 分子结构分类: 有机化合物 - 脂质和类脂质分子 - 异戊烯醇脂质
• 英文名称: 7-tert-butoxycarbonyl-2-oxohexahydro-3,5-methano-2H-cyclopenta[b]furan-6-yl 2-(methacryloyloxy)-acetate
• 英文别名: tert-butyl 2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)acetyl]oxy-5-oxo-4-oxatricyclo[4.2.1.03,7]nonane-9-carboxylate
• CAS: 1004532-12-0
• 化学式: C₁₉H₂₄O₈
• 分子量: 380.395
• InChiKey: SKXJEWDGIIMPBZ-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  2
• 重原子数：
  27
• 可旋转键数：
  9
• 环数：
  3.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.68
• 拓扑面积：
  105
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  8

反应信息

• 作为产物：
  描述：

  7-tert-butoxycarbonyl-2-oxohexahydro-3,5-methano-2H-cyclopenta[b]furan-6-yl 2-chloroacetate 、 甲基丙烯酸 、 碘化钠 、 三乙胺 以 N,N-二甲基甲酰胺 、 水 为溶剂， 反应 16.0h， 生成 7-tert-butoxycarbonyl-2-oxohexahydro-3,5-methano-2H-cyclopenta[b]furan-6-yl 2-(methacryloyloxy)-acetate
  参考文献：
  名称：

  CARBOXYL-CONTAINING LACTONE COMPOUND, POLYMER, RESIST COMPOSITION, AND PATTERNING PROCESS

  摘要：

  具有公式（1）的含羧基内酯化合物是新颖的，其中R1为H、F、甲基或三氟甲基，R2和R3为H或一价的碳氢基团，或R2和R3可以共同形成一个脂环，W为CH2、O或S，k1为0至4的整数，k2为0或1。它们可用作单体生产透射波长≦500 nm的聚合物。以该聚合物为基础树脂的辐射敏感型抗蚀剂组合物表现出优异的性能，包括分辨率、LER、图案密度依赖性和曝光余量。

  公开号：

  US20090274984A1

文献信息

• Lactone-containing compound, polymer, resist composition, and patterning process
  申请人：HASEGAWA Koji

  公开号：US20080026331A1

  公开（公告）日：2008-01-31

  Lactone-containing compounds having formula (1) are novel wherein R 1 is H, F, methyl or trifluoromethyl, R 2 and R 3 are monovalent hydrocarbon groups, or R 2 and R 3 may together form an aliphatic hydrocarbon ring, R 4 is H or CO 2 R 5 , R 5 is a monovalent hydrocarbon group, W is CH 2 , O or S, and k 1 is 0 or 1. They are useful as monomers to produce polymers which are transparent to radiation≦500 nm. Radiation-sensitive resist compositions comprising the polymers as base resin exhibit excellent properties including resolution, pattern edge roughness, pattern density dependency and exposure margin.

  具有公式（1）的含有内酯的化合物是新颖的，其中R1为H，F，甲基或三氟甲基，R2和R3为一价碳氢基团，或R2和R3可以共同形成脂肪族碳氢环，R4为H或CO2R5，R5为一价碳氢基团，W为CH2，O或S，k1为0或1。它们可用作单体以产生对辐射≦500 nm透明的聚合物。以该聚合物为基础树脂的辐射敏感型光阻组合物表现出优异的性能，包括分辨率、图案边缘粗糙度、图案密度依赖性和曝光余量。
• Carboxyl-containing lactone compound, polymer, resist composition, and patterning process
  申请人：Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

  公开号：US08062831B2

  公开（公告）日：2011-11-22

  Carboxyl-containing lactone compounds having formula (1) are novel wherein R1 is H, F, methyl or trifluoromethyl, R2 and R3 are H or monovalent hydrocarbon groups, or R2 and R3 may together form an aliphatic ring, W is CH2, O or S, k1 is an integer of 0 to 4, and k2 is 0 or 1. They are useful as monomers to produce polymers which are transparent to radiation≦500 nm. Radiation-sensitive resist compositions comprising the polymers as base resin exhibit excellent properties including resolution, LER, pattern density dependency and exposure margin.

  具有式（1）的含羧基内酯化合物是新颖的，其中R1为H、F、甲基或三氟甲基，R2和R3为H或一价碳氢基团，或R2和R3可以共同形成一个脂肪环，W为CH2、O或S，k1为0到4的整数，k2为0或1。它们可用作单体，生产对辐射≦500 nm透明的聚合物。以该聚合物为基料的辐射敏感型光阻组合物表现出优异的性能，包括分辨率、LER、图案密度依赖性和曝光余量。
• US7871752B2
  申请人：——

  公开号：US7871752B2

  公开（公告）日：2011-01-18
• US8062831B2
  申请人：——

  公开号：US8062831B2

  公开（公告）日：2011-11-22