2,2-二氟-3-(甲基丙烯酰氧基)戊酸 | 1092693-70-3

• 分子结构分类: 有机化合物 - 脂质和类脂质分子 - 脂肪酰基
• 中文名称: 2,2-二氟-3-(甲基丙烯酰氧基)戊酸
• 英文名称: 2,2-difluoro-3-(methacryloyloxy)pentanoic acid
• 英文别名: 2,2-difluoro-3-(methacroyloxy)pentanoic acid；1-hydroxycarbonyl-1,1-difluoro-2-butyl methacrylate；2,2-difluoro-3-(2-methylprop-2-enoyloxy)pentanoic acid
• CAS: 1092693-70-3
• 化学式: C₉H₁₂F₂O₄
• 分子量: 222.189
• InChiKey: DDUNNQRNNRSLOA-UHFFFAOYSA-N

物化性质

• 沸点：
  305.8±42.0 °C(Predicted)
• 密度：
  1.224±0.06 g/cm3(Predicted)

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  2.3
• 重原子数：
  15
• 可旋转键数：
  6
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.56
• 拓扑面积：
  63.6
• 氢给体数：
  1
• 氢受体数：
  6

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  2,2-二氟-3-(甲基丙烯酰氧基)戊酸 、 氯甲酸苄酯 在 三乙胺 作用下， 以 二氯甲烷 为溶剂， 以74%的产率得到benzyl 2,2-difluoro-3-(methacroyloxy)pentanoate
  参考文献：
  名称：

  RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN, POLYMER AND POLYMERIZABLE COMPOUND

  摘要：

  一种辐射敏感树脂组合物包括第一聚合物，其中包括酸敏感基团，酸发生剂用于在辐射照射后生成酸，以及第二聚合物，其中包括氟原子和由通用公式（x）表示的功能基团。第二聚合物的氟原子含量高于第一聚合物的氟原子含量。R1代表碱性易裂解基团。A代表氧原子，-NR′—，-CO—O—#或-SO2—O—##，其中A代表的氧原子不是直接与芳香环、酰基或亚砜基结合的氧原子，R′代表氢原子或碱性易裂解基团，“#”和“##”表示与R1结合的键合手。-A-R1(x)

  公开号：

  US20120237875A1
• 作为产物：
  描述：

  1-ethoxycarbonyl-1,1-difluoro-2-butyl methacrylate 在 水 、 sodium hydroxide 、 盐酸 作用下， 以 水 为溶剂， 反应 1.0h， 生成 2,2-二氟-3-(甲基丙烯酰氧基)戊酸
  参考文献：
  名称：

  Fluorine-Containing Compound, Fluorine-Containing Polymer, Negative-Type Resist Composition, and Patterning Process Using Same

  摘要：

  化学式（1）所表示的含氟不饱和羧酸，其中R1代表可聚合的双键含基团，R3代表氟原子或含氟烷基团，W代表二价连接基团。该化合物可提供一种分子量为1,000-1,000,000且含有化学式（2）所表示的重复单元的含氟聚合物化合物，其中R3和W如上所定义，R4、R5和R6中的每一个独立地代表氢原子、氟原子或一价有机基团，R4、R5和R6中至少有两个可以结合形成环。该聚合物化合物可提供一种化学增强型光刻胶组合物，该组合物对KrF或ArF准分子激光光线透明，具有高分辨率，并能够形成具有矩形截面且无膨胀的图案。

  公开号：

  US20120226070A1

文献信息

• RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN, AND POLYMER AND COMPOUND
  申请人：Osaki Hitoshi

  公开号：US20130122426A1

  公开（公告）日：2013-05-16

  A radiation-sensitive resin composition that provides a resist coating film in a liquid immersion lithography process is provided, the radiation-sensitive resin composition being capable of exhibiting a great dynamic contact angle during exposure, whereby the surface of the resist coating film can exhibit a superior water draining property, and the radiation-sensitive resin composition being capable of leading to a significant decrease in the dynamic contact angle during development, whereby generation of development defects can be inhibited, and further shortening of a time period required for change in a dynamic contact angle is enabled. A radiation-sensitive resin composition including (A) a fluorine-containing polymer having a structural unit (I) that includes a group represented by the following formula (1), and (B) a radiation-sensitive acid generator.

  提供一种辐射敏感的树脂组合物，可在液体浸没光刻工艺中提供抗蚀涂层膜，该辐射敏感的树脂组合物能够在曝光过程中展现出极大的动态接触角，从而使抗蚀涂层膜表面表现出优越的排水性能，并且该辐射敏感的树脂组合物能够在显影过程中引起动态接触角的显著降低，从而可以抑制显影缺陷的产生，并进一步缩短动态接触角变化所需的时间。该辐射敏感的树脂组合物包括（A）一种含氟聚合物，其具有包括以下公式（1）所表示的基团的结构单元（I），以及（B）一种辐射敏感的酸发生剂。
• Polymerizable Fluorine-Containing Compound
  申请人：ISONO Yoshimi

  公开号：US20110098500A1

  公开（公告）日：2011-04-28

  A polymerizable fluorine-containing compound represented by formula (1), wherein R 1 represents a polymerizable double-bond containing group, R 2 represents an acid-labile protecting group, R 3 represents a fluorine atom or fluorine-containing alkyl group, and W represents a bivalent linking group. This compound can provide a fluorine-containing polymer compound that has a weight-average molecular weight of 1,000-1,000,000 and contains a repeating unit represented by formula (2), wherein R 2 , R 3 and W are defined as above, each of R 4 , R 5 and R 6 independently represents a hydrogen atom, fluorine atom or monovalent organic group, at least two of R 4 , R 5 and R 6 may be combined to form a ring. This polymer compound can provide a resist composition capable of forming a pattern that is transparent to exposure light and superior in rectangularity.

  一种可聚合的含氟化合物，其化学式为（1），其中R1表示可聚合的双键含有基团，R2表示酸敏感保护基团，R3表示氟原子或含氟烷基团，W表示二价连接基团。该化合物可以提供一种含氟聚合物化合物，其重均分子量为1,000-1,000,000，并包含由式（2）表示的重复单元，其中R2、R3和W如上所述，R4、R5和R6中的每一个独立地表示氢原子、氟原子或一价有机基团，至少两个R4、R5和R6可以结合形成一个环。该聚合物化合物可以提供一种抗蚀剂组合物，能够形成透明的曝光光线图案，并具有优异的矩形度。
• Fluorine-Containing Compound, Fluorine-Containing Polymer, Postive-Type Resist Composition, And Patterning Process Using Same
  申请人：ISONO Yoshimi

  公开号：US20080311507A1

  公开（公告）日：2008-12-18

  Disclosed is a fluorine-containing compound represented by formula (1), wherein R 1 represents a polymerizable double-bond containing group, R 2 represents an acid-labile protecting group, R 3 represents a fluorine atom or fluorine-containing alkyl group, and W represents a bivalent linking group. This compound can provide a fluorine-containing polymer compound that has a weight-average molecular weight of 1,000-1,000,000 and contains a repeating unit represented by formula (2), wherein R 2 , R 3 and W are defined as above, each of R 4 , R 5 and R 6 independently represents a hydrogen atom, fluorine atom or monovalent organic group, at least two of R 4 , R 5 and R 6 may be combined to form a ring. This polymer compound can provide a resist composition capable of forming a pattern that is transparent to exposure light and superior in rectangularity.

  本发明涉及一种含氟化合物，其化学式为（1），其中R1代表可聚合的双键含基团，R2代表酸易保护基，R3代表氟原子或含氟烷基团，W代表双价连结基团。该化合物可提供一种含氟聚合物化合物，其重均分子量为1,000-1,000,000，并含有由式（2）所表示的重复单元，其中R2、R3和W如上所定义，R4、R5和R6中的每一个独立地代表氢原子、氟原子或一价有机基团，其中至少两个R4、R5和R6可以组成环。该聚合物化合物可提供一种抗蚀剂组合物，能够形成对曝光光线透明且在矩形度方面优越的图案。
• Positive-Type Resist Composition
  申请人：ISONO Yoshimi

  公开号：US20090061353A1

  公开（公告）日：2009-03-05

  Disclosed is a fluorine-containing polymer compound containing first and second repeating units respectively represented by formulas (a-1) and (a-2), wherein R 3 represents a fluorine atom or fluorine-containing alkyl group, each of W and W 1 independently represents a bivalent linking group, R 2 represents an acid-labile protecting group, each of R 4 , R 5 and R 6 independently represents a hydrogen atom, fluorine atom or monovalent organic group, and at least two of R 4 , R 5 , R 6 and W or W 1 may be combined to form a cyclic structure in formula (a-1) or (a-2). This polymer compound has a weight-average molecular weight of 1,000 to 1,000,000 and can provide a resist composition capable of forming a pattern with no swelling and no pattern falling down.

  本发明涉及一种含氟聚合物化合物，其中包含第一和第二重复单元，分别由式（a-1）和（a-2）表示，其中R3表示氟原子或含氟烷基，W和W1各自表示双价连接基团，R2表示酸敏保护基团，R4、R5和R6各自表示氢原子、氟原子或单价有机基团，且式（a-1）或（a-2）中至少两个R4、R5、R6和W或W1可组成环状结构。该聚合物化合物具有1,000至1,000,000的重均分子量，并可提供一种抗膨胀和无图案脱落的光刻胶组合物。
• Top Coating Composition
  申请人：Maeda Kazuhiko

  公开号：US20120040294A1

  公开（公告）日：2012-02-16

  Disclosed is a top coating composition formed on a resist film, for protecting the resist film, the top coating composition being a top coating composition for photoresist, characterized by containing a fluorine-containing polymer having a repeating unit represented by the following general formula (1). This composition is capable of controlling developing solution solubility and has a high water repellency. [In the formula, R 1 represents a hydrogen atom, fluorine atom, methyl group or trifluoromethyl group, R 2 represents a heat-labile protecting group, R 3 represents a fluorine atom or fluorine-containing alkyl group, and W is a bivalent linking group.]

  本发明公开了一种用于保护光阻膜的顶层涂层组合物，该顶层涂层组合物是一种用于光刻胶的顶层涂层组合物，其特征在于包含具有以下一般式（1）所表示的重复单元的含氟聚合物。该组合物能够控制显影液的溶解性，并具有高度的防水性。[在公式中，R1表示氢原子、氟原子、甲基基团或三氟甲基基团，R2表示热敏保护基团，R3表示氟原子或含氟烷基团，W是双价连接基团。]