1-ethoxycarbonyl-1,1-difluoro-2-butyl methacrylate | 1092693-69-0

• 分子结构分类: 有机化合物 - 脂质和类脂质分子 - 脂肪酰基
• 英文名称: 1-ethoxycarbonyl-1,1-difluoro-2-butyl methacrylate
• 英文别名: ethyl 2,2-difluoro-3-(methacryloyloxy)pentanoate；ethyl 2,2-difluoro-3-(2-methylprop-2-enoyloxy)pentanoate
• CAS: 1092693-69-0
• 化学式: C₁₁H₁₆F₂O₄
• 分子量: 250.242
• InChiKey: UCAXDNPYEABXOE-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  3
• 重原子数：
  17
• 可旋转键数：
  8
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.64
• 拓扑面积：
  52.6
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  6

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  1-ethoxycarbonyl-1,1-difluoro-2-butyl methacrylate 在 水 、 sodium hydroxide 、 盐酸 作用下， 以 水 为溶剂， 反应 1.0h， 生成 2,2-二氟-3-(甲基丙烯酰氧基)戊酸
  参考文献：
  名称：

  Fluorine-Containing Compound, Fluorine-Containing Polymer, Negative-Type Resist Composition, and Patterning Process Using Same

  摘要：

  化学式（1）所表示的含氟不饱和羧酸，其中R1代表可聚合的双键含基团，R3代表氟原子或含氟烷基团，W代表二价连接基团。该化合物可提供一种分子量为1,000-1,000,000且含有化学式（2）所表示的重复单元的含氟聚合物化合物，其中R3和W如上所定义，R4、R5和R6中的每一个独立地代表氢原子、氟原子或一价有机基团，R4、R5和R6中至少有两个可以结合形成环。该聚合物化合物可提供一种化学增强型光刻胶组合物，该组合物对KrF或ArF准分子激光光线透明，具有高分辨率，并能够形成具有矩形截面且无膨胀的图案。

  公开号：

  US20120226070A1
• 作为产物：
  描述：

  甲基丙烯酰氯 、 2,2-二氟-3-羟基戊酸乙酯 在 三乙胺 作用下， 以 氯仿 为溶剂， 反应 4.0h， 生成 1-ethoxycarbonyl-1,1-difluoro-2-butyl methacrylate
  参考文献：
  名称：

  Fluorine-Containing Compound, Fluorine-Containing Polymer, Negative-Type Resist Composition, and Patterning Process Using Same

  摘要：

  化学式（1）所表示的含氟不饱和羧酸，其中R1代表可聚合的双键含基团，R3代表氟原子或含氟烷基团，W代表二价连接基团。该化合物可提供一种分子量为1,000-1,000,000且含有化学式（2）所表示的重复单元的含氟聚合物化合物，其中R3和W如上所定义，R4、R5和R6中的每一个独立地代表氢原子、氟原子或一价有机基团，R4、R5和R6中至少有两个可以结合形成环。该聚合物化合物可提供一种化学增强型光刻胶组合物，该组合物对KrF或ArF准分子激光光线透明，具有高分辨率，并能够形成具有矩形截面且无膨胀的图案。

  公开号：

  US20120226070A1

文献信息

• RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN, POLYMER AND POLYMERIZABLE COMPOUND
  申请人：ASANO Yuusuke

  公开号：US20120237875A1

  公开（公告）日：2012-09-20

  A radiation-sensitive resin composition includes a first polymer including an acid-labile group, an acid generator to generate an acid upon exposure to radiation, and a second polymer including a fluorine atom and a functional group shown by a general formula (x). The second polymer has a fluorine atom content higher than a fluorine atom content of the first polymer. R 1 represents an alkali-labile group. A represents an oxygen atom, —NR′—, —CO—O— # or —SO 2 —O— ## , wherein the oxygen atom represented by A is not an oxygen atom bonded directly to an aromatic ring, a carbonyl group, or a sulfoxyl group, R′ represents a hydrogen atom or an alkali-labile group, and “#” and “##” indicates a bonding hand bonded to R 1 . -A-R 1 (x)

  一种辐射敏感树脂组合物包括第一聚合物，其中包括酸敏感基团，酸发生剂用于在辐射照射后生成酸，以及第二聚合物，其中包括氟原子和由通用公式（x）表示的功能基团。第二聚合物的氟原子含量高于第一聚合物的氟原子含量。R1代表碱性易裂解基团。A代表氧原子，-NR′—，-CO—O—#或-SO2—O—##，其中A代表的氧原子不是直接与芳香环、酰基或亚砜基结合的氧原子，R′代表氢原子或碱性易裂解基团，“#”和“##”表示与R1结合的键合手。-A-R1(x)
• RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN, ORGANIC ACID AND ACID GENERATING AGENT
  申请人：MATSUDA Yasuhiko

  公开号：US20130065186A1

  公开（公告）日：2013-03-14

  A radiation-sensitive resin composition includes an acid generating agent to generate an organic acid by irradiation with a radioactive ray. The organic acid has a cyclic hydrocarbon group and an organic group including a bond that is cleavable by an acid or a base to produce a polar group. The organic acid is preferably represented by a following formula (I). Z represents an organic acid group. R 2 represents an alkanediyl group, wherein a part or all of hydrogen atoms of the alkanediyl group represented by R 1 are optionally substituted by a fluorine atom. X represents a single bond, O, OCO, COO, CO, SO 3 or SO 2 . R 2 represents a cyclic hydrocarbon group. R 3 represents a monovalent organic group having a functional group represented by a following formula (x). n is an integer of 1 to 3. Z—R 1 —X—R 2 —(R 3 ) n (I) —R 31 -G-R 13 (x)

  一种辐射敏感树脂组合物包括酸发生剂，通过放射性射线照射生成有机酸。该有机酸具有环烃基和有机基，包括可被酸或碱裂解以产生极性基团的键。有机酸最好由以下式（I）表示。其中，Z代表有机酸基团。R2代表脂肪二元基，其中R1代表脂肪二元基中的一部分或全部氢原子可选地被氟原子取代。X代表单键，O，OCO，COO，CO，SO3或SO2。R2代表环烃基。R3代表具有以下式（x）所表示的官能团的一价有机基。n为1到3的整数。Z-R1-X-R2-(R3)n（I）-R31-G-R13（x）。
• Polymerizable Fluorine-Containing Compound
  申请人：ISONO Yoshimi

  公开号：US20110098500A1

  公开（公告）日：2011-04-28

  A polymerizable fluorine-containing compound represented by formula (1), wherein R 1 represents a polymerizable double-bond containing group, R 2 represents an acid-labile protecting group, R 3 represents a fluorine atom or fluorine-containing alkyl group, and W represents a bivalent linking group. This compound can provide a fluorine-containing polymer compound that has a weight-average molecular weight of 1,000-1,000,000 and contains a repeating unit represented by formula (2), wherein R 2 , R 3 and W are defined as above, each of R 4 , R 5 and R 6 independently represents a hydrogen atom, fluorine atom or monovalent organic group, at least two of R 4 , R 5 and R 6 may be combined to form a ring. This polymer compound can provide a resist composition capable of forming a pattern that is transparent to exposure light and superior in rectangularity.

  一种可聚合的含氟化合物，其化学式为（1），其中R1表示可聚合的双键含有基团，R2表示酸敏感保护基团，R3表示氟原子或含氟烷基团，W表示二价连接基团。该化合物可以提供一种含氟聚合物化合物，其重均分子量为1,000-1,000,000，并包含由式（2）表示的重复单元，其中R2、R3和W如上所述，R4、R5和R6中的每一个独立地表示氢原子、氟原子或一价有机基团，至少两个R4、R5和R6可以结合形成一个环。该聚合物化合物可以提供一种抗蚀剂组合物，能够形成透明的曝光光线图案，并具有优异的矩形度。
• RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, POLYMER AND COMPOUND
  申请人：Nakahara Kazuo

  公开号：US20120082934A1

  公开（公告）日：2012-04-05

  [Problem] To reduce the time required for a film to exhibit decreased hydrophobicity after liquid immersion lithography while allowing the surface of a film to exhibit high hydrophobicity during liquid immersion lithography. [Solution] A radiation-sensitive resin composition including (A) a polymer that includes a repeating unit (a1) and a fluorine atom, and (B) a photoacid generator, the repeating unit (a1) including a group shown by any of the following formulas (1-1) to (1-3).

  [问题] 在液体浸润光刻后，减少薄膜表现出降低的疏水性所需的时间，同时允许薄膜表面在液体浸润光刻期间表现出高疏水性。[解决方案] 包括（A）聚合物和（B）光酸发生剂的辐射敏感树脂组合物，其中重复单元（a1）包括重复单元（a1）和氟原子，并且（a1）包括以下任意一种公式（1-1）至（1-3）所示的基团。
• Fluorine-Containing Compound, Fluorine-Containing Polymer, Postive-Type Resist Composition, And Patterning Process Using Same
  申请人：ISONO Yoshimi

  公开号：US20080311507A1

  公开（公告）日：2008-12-18

  Disclosed is a fluorine-containing compound represented by formula (1), wherein R 1 represents a polymerizable double-bond containing group, R 2 represents an acid-labile protecting group, R 3 represents a fluorine atom or fluorine-containing alkyl group, and W represents a bivalent linking group. This compound can provide a fluorine-containing polymer compound that has a weight-average molecular weight of 1,000-1,000,000 and contains a repeating unit represented by formula (2), wherein R 2 , R 3 and W are defined as above, each of R 4 , R 5 and R 6 independently represents a hydrogen atom, fluorine atom or monovalent organic group, at least two of R 4 , R 5 and R 6 may be combined to form a ring. This polymer compound can provide a resist composition capable of forming a pattern that is transparent to exposure light and superior in rectangularity.

  本发明涉及一种含氟化合物，其化学式为（1），其中R1代表可聚合的双键含基团，R2代表酸易保护基，R3代表氟原子或含氟烷基团，W代表双价连结基团。该化合物可提供一种含氟聚合物化合物，其重均分子量为1,000-1,000,000，并含有由式（2）所表示的重复单元，其中R2、R3和W如上所定义，R4、R5和R6中的每一个独立地代表氢原子、氟原子或一价有机基团，其中至少两个R4、R5和R6可以组成环。该聚合物化合物可提供一种抗蚀剂组合物，能够形成对曝光光线透明且在矩形度方面优越的图案。