第一部分:化学品名称 |
化学品中文名称: | 六甲基二硅烷胺;六甲基二硅亚胺 |
化学品英文名称: | 1,1,1,3,3,3-Hexamethyl disilazane;Hexamethyl disilylamine |
中文俗名或商品名: | |
Synonyms: | |
CAS No.: | 999-97-3 |
分子式: | C 6 H 19 NSi 2 |
分子量: | 161.4 |
第二部分:成分/组成信息 |
纯化学品 混合物 | ||||||
化学品名称:六甲基二硅烷胺;六甲基二硅亚胺 | ||||||
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第三部分:危险性概述 |
危险性类别: | 第3.2类 中闪点易燃液体 |
侵入途径: | 吸入 食入 经皮吸收 |
健康危害: | 吸入、摄入或经皮肤吸收后对身体有害。液体及蒸气对眼、皮肤和呼吸系统有刺激作用。吸入后可引起喉、支气管的炎症、水肿、痉挛,化学性肺炎、肺水肿等。 |
环境危害: | |
燃爆危险: | 本品易燃,具刺激性。 |
第四部分:急救措施 |
皮肤接触: | 脱去污染的衣着,用肥皂水及清水彻底冲洗。 |
眼睛接触: | 立即翻开上下眼睑,用流动清水冲洗15分钟。就医。 |
吸入: | 脱离现场至空气新鲜处。呼吸困难时给输氧。呼吸停止时,立即进行人工呼吸。就医。 |
食入: | 误服者用水漱口,立即就医。 |
第五部分:消防措施 |
危险特性: | 其蒸气与空气可形成爆炸性混合物,遇明火、高热极易燃烧爆炸。与氧化剂接触猛烈反应。遇水和甲醇发生化学反应而分解。若遇高热,容器内压增大,有开裂和爆炸的危险。 |
有害燃烧产物: | 一氧化碳、二氧化碳、氧化氮、氧化硅。 |
灭火方法及灭火剂: | 泡沫、二氧化碳、干粉、砂土。 |
消防员的个体防护: | 消防人员须佩戴防毒面具、穿全身消防服,在上风向灭火。 |
禁止使用的灭火剂: | |
闪点(℃): | 25 |
自燃温度(℃): | 无资料 |
爆炸下限[%(V/V)]: | 无资料 |
爆炸上限[%(V/V)]: | 无资料 |
最小点火能(mJ): | |
爆燃点: | |
爆速: | |
最大燃爆压力(MPa): | |
建规火险分级: |
第六部分:泄漏应急处理 |
应急处理: | 疏散泄漏污染区人员至安全区,禁止无关人员进入污染区,切断火源。应急处程人员戴自给式呼吸器,穿化学防护服。不要直接接触泄漏物,在确保安全情况下堵漏。用不燃性分散剂制成的乳液刷洗,经稀释的洗液放入废水系统。如大量泄漏,利用围堤收容,然后收集、转移、回收或无害处理后废弃。 |
第七部分:操作处置与储存 |
操作注意事项: | 密闭操作,全面排风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩),戴化学安全防护眼镜,穿防毒物渗透工作服,戴橡胶耐油手套。远离火种、热源,工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。防止蒸气泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂、酸类、醇类接触。尤其要注意避免与水接触。搬运时要轻装轻卸,防止包装及容器损坏。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。倒空的容器可能残留有害物。 |
储存注意事项: | 储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。保持容器密封。应与氧化剂、酸类、醇类等分开存放,切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。 |
第八部分:接触控制/个体防护 |
最高容许浓度: | 中 国 MAC:未制订标准前苏联MAC:未制订标准美国TLV—TWA:未制订标准美国 |
监测方法: | |
工程控制: | 密闭操作,全面排风。 |
呼吸系统防护: | 可能接触其蒸气时,应该佩戴防毒面具。紧急事态抢救或撤离时,建议佩戴自给式呼吸器。 |
眼睛防护: | 戴化学安全防护眼镜。 |
身体防护: | 穿防静电工作服。 |
手防护: | 戴橡皮手套。 |
其他防护: | 工作后,淋浴更衣。注意个人清洁卫生。 |
第九部分:理化特性 |
外观与性状: | 无色透明易流动液体,与空气接触会迅速分解为三甲基硅醇和六甲基二硅醚。 |
pH: | |
熔点(℃): | |
沸点(℃): | 126 |
相对密度(水=1): | 0.77 |
相对蒸气密度(空气=1): | |
饱和蒸气压(kPa): | |
燃烧热(kJ/mol): | |
临界温度(℃): | |
临界压力(MPa): | |
辛醇/水分配系数的对数值: | |
闪点(℃): | 25 |
引燃温度(℃): | 无资料 |
爆炸上限%(V/V): | 无资料 |
爆炸下限%(V/V): | 无资料 |
分子式: | C 6 H 19 NSi 2 |
分子量: | 161.4 |
蒸发速率: | |
粘性: | |
溶解性: | 溶于多数有机溶剂。 |
主要用途: | 用作分析试剂和作为有机合成中间体。 |
第十部分:稳定性和反应活性 |
稳定性: | 在常温常压下 稳定 |
禁配物: | 强氧化剂、强酸、潮湿空气、水、醇类。 |
避免接触的条件: | 接触潮湿空气。 |
聚合危害: | 不能出现 |
分解产物: | 一氧化碳、二氧化碳、氧化氮、氧化硅。 |
第十一部分:毒理学资料 |
急性毒性: | 具刺激作用 |
急性中毒: | |
慢性中毒: | |
亚急性和慢性毒性: | |
刺激性: | |
致敏性: | |
致突变性: | |
致畸性: | |
致癌性: |
第十二部分:生态学资料 |
生态毒理毒性: | |
生物降解性: | |
非生物降解性: | |
生物富集或生物积累性: |
第十三部分:废弃处置 |
废弃物性质: | |
废弃处置方法: | 处置前应参阅国家和地方有关法规。建议用焚烧法处置。焚烧炉排出的氮氧化物通过洗涤器除去。 |
废弃注意事项: |
第十四部分:运输信息 |
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危险货物编号: | 32185 |
UN编号: | |
包装标志: | |
包装类别: | Ⅱ |
包装方法: | 安瓿瓶外普通木箱;螺纹口玻璃瓶、铁盖压口玻璃瓶、塑料瓶或金属桶(罐)外普通木箱;螺纹口玻璃瓶、塑料瓶或镀锡薄钢板桶(罐)外满底板花格箱、纤维板箱或胶合板箱。 |
运输注意事项: | 运输时运输车辆应配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。夏季最好早晚运输。运输时所用的槽(罐)车应有接地链,槽内可设孔隔板以减少震荡产生静电。严禁与氧化剂、酸类、醇类、食用化学品等混装混运。运输途中应防曝晒、雨淋,防高温。中途停留时应远离火种、热源、高温区。装运该物品的车辆排气管必须配备阻火装置,禁止使用易产生火花的机械设备和工具装卸。公路运输时要按规定路线行驶。铁路运输时要禁止溜放。严禁用木船、水泥船散装运输。 |
RETCS号: | |
IMDG规则页码: |
第十五部分:法规信息 |
国内化学品安全管理法规: | 化学危险物品安全管理条例 (1987年2月17日国务院发布),化学危险物品安全管理条例实施细则 (化劳发[1992] 677号),工作场所安全使用化学品规定 ([1996]劳部发423号)等法规,针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定;常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92)将该物质划为第3.2 类中闪点易燃液体。 |
国际化学品安全管理法规: |
第十六部分:其他信息 |
参考文献: | 1.周国泰,化学危险品安全技术全书,化学工业出版社,1997 2.国家环保局有毒化学品管理办公室、北京化工研究院合编,化学品毒性法规环境数据手册,中国环境科学出版社.1992 3.Canadian Centre for Occupational Health and Safety,CHEMINFO Database.1998 4.Canadian Centre for Occupational Health and Safety, RTECS Database, 1989 |
填表时间: | 年月日 |
填表部门: | |
数据审核单位: | |
修改说明: | |
其他信息: | 3 |
MSDS修改日期: | 年月日 |
六甲基二硅氮烷(HMDS) 是一种重要的有机硅化合物,英文缩写为 HMDS。它最常用于增加光刻胶在晶圆表面的附着力,作为底漆层。这种物质易燃,燃点为6.7℃;当空气中浓度在0.8%-16%时具有爆炸性。HMDS会与水、酒精和矿物质酸反应生成氨气(NH3),并释放出六甲基二硅醚。
在催化剂存在下,它能与醇或酚反应生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷;同时也能与无水氯化氢反应,释放 NH3 或 NH4Cl,并生成三甲基氯硅烷。
光刻胶应用六甲基二硅氮烷(HMDS)底涂通常在应用光刻胶之前使用。早在1970年,IBM 的 RH Collins 和 FT Devers 在美国专利 3,549,368 中首次描述了 HMDS 作为光刻胶粘合促进剂的应用。该工艺已从将晶圆浸入HMDS溶液中逐步发展为基于蒸汽的过程。尽管可以通过旋涂技术在晶圆上涂敷HMDS,但通常不推荐这样做,因为厚层的HMDS会蒸发并在后期造成问题。最典型的 HMDS 应用是在真空室中,其中基板加热并暴露于 HMDS 蒸汽。
脱水烘烤 从晶圆表面去除多余材料(即吸附的水),而 HMDS 处理将添加一层材料使其对光刻胶更具吸引力。在脱水烘烤之后,晶圆表面会暴露于蒸汽HMDS,通常是在设置为130至160℃的热底漆烘箱中。晶圆表面的羟基(OH)基团与 HMDS 的甲基发生反应,从而使表面更加疏水,更好地匹配光刻胶的化学成分。
危险性六甲基二硅氮烷是主危3类副危6.1类/8类的危险货物。该物质易燃,蒸气遇明火、高热极易燃烧爆炸,其爆炸极限范围为0.8%-16.3%。此外,它会与氧化剂接触发生猛烈反应,并与水和甲醇化学反应而分解。
化学性质
六甲基二硅氮烷是一种无色透明的易流动液体,沸点为125℃,相对密度为0.76(在20/4℃下)。该物质溶于有机溶剂,在与空气接触时会迅速被水解生成三甲硅烷醇和六甲基二硅醚。其闪点为-1℃。
用途
HMDS 在有机硅氮烷化学中可以用作氯硅烷单体进行氯交换,从而获得聚硅氮烷。这种方法比直接通氨法在合成上有巨大优势,并且被广泛用于减尾剂、气相色谱载体表面处理以及半导体工业中的光致刻蚀剂粘结助剂。
生产方法
将109克(1.0摩尔)的三甲基氯硅烷溶于500毫升无水乙醚中,通入氨气后立即出现白色沉淀。加热至回流状态,并慢慢通入氨气维持6小时,使氯化铵沉降、过滤,取乙醚溶液先蒸出乙醚再蒸出六甲基二硅氮烷,最终得到52.5克的收率约为65%。
类别
毒性分级
急性毒性
可燃性危险特性
储运特性
灭火剂
中文名称 | 英文名称 | CAS号 | 化学式 | 分子量 |
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[(双(三甲基硅烷基)氨基)二甲基锡烷基]甲烷 | Trimethylstannyl-bis-trimethylsilyl-amin | 996-37-2 | C9H27NSi2Sn | 324.201 |
四甲基二硅氮烷 | 1,1,3,3-tetramethyldisilazane | 15933-59-2 | C4H15NSi2 | 133.341 |
—— | N-bromobis(trimethylsilyl)amine | 758-44-1 | C6H18BrNSi2 | 240.291 |
中文名称 | 英文名称 | CAS号 | 化学式 | 分子量 |
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四甲基二硅氮烷 | 1,1,3,3-tetramethyldisilazane | 15933-59-2 | C4H15NSi2 | 133.341 |
三(三甲基硅)胺 | tris(trimethylsilyl)amine | 1586-73-8 | C9H27NSi3 | 233.577 |
—— | N-bromobis(trimethylsilyl)amine | 758-44-1 | C6H18BrNSi2 | 240.291 |
—— | N,N-bis(trimethylsilyl)-aminoborane | 73452-31-0 | C6H20BNSi2 | 173.213 |