There are here disclosed a photoresist material for lithography using a light of 220 nm or less which comprises at least a polymer represented by the following formula (2) and a photo-acid generator for generating an acid by exposure:
wherein R
1
, R
2
, R
3
and R
5
are each a hydrogen atom or a methyl group; R
4
is an acid-labile group, an alicyclic hydrocarbon group having 7 to 13 carbon atoms, which has an acid labile group, an alicyclic hydrocarbon group having 7 to 13 carbon atoms, which has a carboxyl group, or a hydrocarbon group having 3 to 13 carbon atoms, which has an epoxy group; R
6
is a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, or an alicyclic hydrocarbon group having 7 to 13 carbon atoms, which has a carboxyl group; x, y and z are optional values which meet x+y+z=1, 0
本文披露了一种光刻用于220nm或更低波长的光的光阻材料,其包括至少由以下化学式(2)表示的聚合物和用于曝光后生成酸的光酸发生剂:其中,R1、R2、R3和R5分别为氢原子或甲基基团;R4为酸敏感基团、具有7至13个碳原子的脂环烃基团,其具有酸敏感基团、具有7至13个碳原子的脂环烃基团,其具有羧基基团,或具有3至13个碳原子的碳氢基团,其具有环氧基团;R6为氢原子、具有1至12个碳原子的碳氢基团,或具有7至13个碳原子的脂环烃基团,其具有羧基基团;x、y和z是可选值,满足x+y+z=1,0
Organomodifizierte Polysiloxane mit Blockcharakter, Verfahren zu deren Herstellung und deren Verwendung
申请人:Goldschmidt GmbH
公开号:EP1792609A1
公开(公告)日:2007-06-06
Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung von organomodifizierten Siloxanen mit domänenartiger Verteilung erhalten durch teilweise oder vollständige Umsetzung von
A) Wasserstoffsiloxanen mit einem Verteilungsgrad (persistency ratio) (η) der Komponenten [A] und [B] im Copolymeren [AB] η=ABAB von η > 1, vorzugsweise > 1,1, insbesondere ≥ 1,2, mit
B) olefinisch und/oder acetylenisch ungesättigten Verbindungen, die daraus resultierenden Verbindungen und ihre Verwendung.
本发明的主题是一种制备具有畴状分布的有机改性硅氧烷的工艺,该工艺是通过以下物 质的部分或全部反应获得的
A) 共聚物[AB]中组分[A]和[B]的分布度(持久率)(η)为η>1,最好>1.1,特别是≥1.2的氢硅氧烷,与
B)烯烃和/或乙炔不饱和化合物,所得到的化合物及其用途。
HÄRTBARE ZUSAMMENSETZUNG FÜR BESCHICHTUNGEN MIT ANTI-ADHÄSIVER EIGENSCHAFT
申请人:Evonik Degussa GmbH
公开号:EP3470475A1
公开(公告)日:2019-04-17
Härtbare Zusammensetzung zur Herstellung von Beschichtungssystemen mit anti-adhäsiver Eigenschaft enthaltend mindestens ein filmbildendes Polymer und mindestens ein organomodifiziertes, verzweigtes Siloxan der Formel (I) oder Mischungen davon.
一种可固化组合物,用于制备具有防粘附性能的涂料体系,该组合物包含至少一种成膜聚合物和至少一种式 (I) 的有机改性支链硅氧烷或其混合物。
Asymmetrically substituted polyorganosiloxane derivatives
申请人:Momentive Performance Materials GmbH
公开号:US11535751B2
公开(公告)日:2022-12-27
An asymmetrically substituted polyorganosiloxane comprising at least one or more siloxane blocks and different reactive groups at each end of the siloxane chain, e.g. an alkoxysilyl, alkenyl, epoxy, hydroxyaromatic or an ionic substituent. Each polyorganosiloxane block has substantially a monomodal chain length distribution and is suitable for the use as a surface modifying agent for organic or inorganic particles, as a surface active material, and/or as a compatibilizer in compositions having more two or more non-miscible phases.
一种不对称取代的聚有机硅氧烷,至少包含一个或多个硅氧烷嵌段,硅氧烷链的两端有不同的活性基团,如烷氧基硅烷基、烯基、环氧基、羟基芳香族或离子取代基。每个聚有机硅氧烷嵌段的链长分布基本上是单模的,适合用作有机或无机颗粒的表面改性剂、表面活性材料和/或具有两个或更多非混相的组合物中的相容剂。
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