本文报道了含有氟烷基和重氮
萘醌 (DNQ) 部分的材料的合成以及负性和正性模板图案的制造。此外,还讨论了有助于图案形成过程的光反应机制,并探索了这些材料在有机发光二极管(OLED)显示器的像素形成过程中的应用。氟烷基化重氮
萘醌(RF2D1)是通过
化学结合DNQ单元合成的,该单元可以转化为具有更强极性的
羧酸衍
生物,具有两个
氟化烷基链。发现纯化的化合物可溶于非极性
氟溶剂并且可以均匀地涂覆为薄膜。当 RF2D1 薄膜暴露在 365 nm 紫外光下时,由于沃尔夫重排和随后
乙烯酮部分的
水解,其在
氟溶剂中的溶解度降低。相比之下,当测试 RF2D1 和疏
水性
氟化共聚物的混合物的图案化过程时,该共聚物延迟了
乙烯酮中间体向
羧酸的转化,导致曝光区域溶解在含
氟溶剂中。最后,通过在正交光刻工艺中采用这些材料来创建 OLED 像素,证明了这些材料在微图案化中的适用性。