采用
金属有机溶液沉积技术制备了具有层状结构的 BaBi2Ta2O9 薄膜。该薄膜表现出良好的结构、介电和绝缘性能。发现室温电阻率在 1012-1014 Ω cm 至 4 V 的范围内,对应于在 500-700 °C 温度范围内退火的薄膜电容器两端的 200 kV/cm 场。对于在 700 °C 下退火 1 小时的薄膜,电流-电压 (I-V) 特性与厚度的函数关系表明体积受限传导,log(I) vs V1/2 特性表明存在空间电荷受限传导机制. 对
金属-绝缘体-半导体配置薄膜的电容-电压测量表明,Si/BaBi2Ta2O9 界面特性良好,测量和计算出的 SiO2 厚度约为 5 nm。