申请人:日産化学工業株式会社
公开号:JP2001122827A
公开(公告)日:2001-05-08
(57)【要約】 (修正有)\n【課題】 波長248nm以下の遠紫外線に対して高い透明性を有し、かつドライエッチング耐性に優れ、基板密着性、アルカリ現像液に対し良好な溶解性を示し、更に高感度、高解像度を有するフォトレジスト用モノマーを提供する。\n【解決手段】 式[1]及び[2]の4-アクリロイルオキシ-3-ヒドロキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デカン化合物及び3−アクリロイルオキシ-4-ヒドロキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デカン化合物に関し、又、式[3]の3,4-エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デカンと式[4]のアクリル酸化合物とを無触媒下又は4級塩触媒存在下反応させるか、更に式[5]の3,4-ジヒドロキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デカン(DHTCと略記)と式[6]のアクリル酸ハライド化合物を塩基存在下反応させるか、DHTCと式[7]のアクリル酸化合物を酸触媒存在下反応させることを特徴とする式[1]及び式[2]で表される化合物の製法に関する。\n
(57) [摘要](有修改).n[主题事项] 提供一种光刻胶单体,它对波长为 248 nm 或以下的远紫外线具有高透明性、优异的耐干蚀刻性、基底附着力、在碱性显影溶液中的良好溶解性,以及高灵敏度和高分辨率。\溶解:关于式 [1] 和 [2] 的 4-丙烯酰氧基-3-羟基三环[5.2.1.02,6]癸烷化合物和 3-丙烯酰氧基-4-羟基三环[5.2.1.02,6]癸烷化合物,以及式 [3] 的 3,4-环氧三环[5.2.1.02,6]癸烷化合物,以及关于 3,4式[3]的 3,4-环氧三环[5.2.1.02,6]癸烷与式[4]的丙烯酸化合物在无催化剂或在季盐催化剂存在下的反应,或式[5]的 3,4-二羟基三环[5.2.1.02,6]癸烷(简称 DHTC)与式[6]的丙烯酸卤化物在碱存在下的反应。生产式[1]和式[2]所代表化合物的工艺,其特征是 DHTC 在碱存在下反应或 DHTC 与式[7]的丙烯酸化合物在酸催化剂存在下反应。\n