六氟乙烷 | 76-16-4

• 物质功能分类: 有机原料 - 有机氟化合物 - 氟乙烷系列
• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机卤素化合物 - 有机氟化物
• 中文名称: 六氟乙烷
• 中文别名: 电子级六氟乙烷；电子级六氟乙烷电子级氟碳；全氟乙烷；氟里昂116；R116
• 英文名称: Hexafluoroethane
• 英文别名: R116；1,1,1,2,2,2-hexafluoroethane
• CAS: 76-16-4
• 化学式: C₂F₆
• mdl: MFCD00000428
• 分子量: 138.012
• InChiKey: WMIYKQLTONQJES-UHFFFAOYSA-N

物化性质

• 熔点：
  −100 °C(lit.)
• 沸点：
  −78 °C(lit.)
• 密度：
  1,607 g/cm3
• 蒸气密度：
  4.7 (vs air)
• 物理描述：
  Hexafluoroethane is a colorless, odorless gas. It is relatively inert. The mixture is nonflammable and nontoxic, though asphyxiation may occur because of displacement of oxygen. Under prolonged exposure to fire or intense heat the containers may rupture violently and rocket.
• 颜色/状态：
  Colorless gas
• 溶解度：
  In water, 7.78 mg/L at 25 °C
• 蒸汽压力：
  2.51X10+4 mm Hg at 25 °C /extrapolated/
• 亨利常数：
  20.30 atm-m3/mole
• 稳定性/保质期：

  在常温常压下保持稳定，应避免与氧化物接触。

• 分解：
  When heated to decomposition it emits acrid smoke and irritating vapors.
• 保留指数：
  156;156

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  2
• 重原子数：
  8
• 可旋转键数：
  0
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  0
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  6

ADMET

毒理性

• 毒性总结

全氟乙烷是一种无色气体。它用作介电材料和冷却剂、气溶胶推进剂、制冷剂。全氟乙烷因其可能在视网膜手术中作为玻璃体内填塞物的潜在价值而受到研究。人类暴露和毒性：全氟乙烷在非活化或代谢活化的测试系统中，并未在人类外周血淋巴细胞中诱导结构或数量上的染色体畸变。玻璃体手术后患者的重大并发症之一是两种全氟碳气体之一的眼睛内压增加，这通常是暂时的，以及气体引起的晶状体混浊。动物研究：将大鼠急性暴露于测试物质中，浓度为空气中20%体积，持续2小时，或在氧气中80%体积，持续4小时，并未致命，并且在暴露期间或之后，或者14天后的大体病理检查中仅表现出轻微的中毒迹象。在暴露水平为200,000 ppm的比格犬中并未显示出心脏敏感性。包括FOB（功能性观察电池）和运动活动端点的大鼠14天研究，确定了基于在最高测试浓度下所有端点均无影响的NOAEL（无观察到不良效应水平）为50,000 ppm。全氟乙烷在大鼠的发展研究中并未显示出毒性。对雄性和雌性大鼠重复吸入暴露于0、2500、10000或50000 ppm的微核评估为阴性。

IDENTIFICATION AND USE: Perfluoroethane is a colorless gas. It is used as dielectric and coolant, aerosol propellant, refrigerant. Perfluoroethane is studied for its possible value as intravitreal tamponades in retinal surgery. HUMAN EXPOSURE AND TOXICITY: Perfluoroethane did not induce structural or numerical chromosome aberrations in human peripheral blood lymphocytes in either the non-activated or metabolically -activated test systems. The major complications in patients after vitreous surgery and one of two perfluorocarbon gases were increased intraocular pressure, which was usually transient, and gas-induced lens opacities. ANIMAL STUDIES: Acute exposure of rats to the test substance at concentrations of 20% by volume in air for 2 hours or 80% by volume in oxygen for 4 hours was not lethal and produced marginal signs of intoxication either during or after exposure or on gross pathological examination 14 days later. It did not show cardiac sensitization in beagle dogs at exposure levels of 200,000 ppm. 14-Day rat study including examination of FOB (Functional Observational Battery) and motor activity end-points, identifies a NOAEL of 50,000 ppm established based on the absence of effects in all end-points at the highest concentration tested. Perfluoroethane was not toxic in developmental studies in rats. Micronucleus evaluation from repeated inhalation exposure of male and female rats to 0, 2500, 10000, or 50000 ppm was negative.

来源:Hazardous Substances Data Bank (HSDB)

毒理性

• 副作用

神经毒素 - 急性溶剂综合征

Neurotoxin - Acute solvent syndrome

来源:Haz-Map, Information on Hazardous Chemicals and Occupational Diseases

毒理性

• 相互作用

测试物质对心脏对肾上腺素注射挑战的致敏潜力在比格犬中进行了测试。在接触前，比格犬接受了肾上腺素（0.008毫克/千克）的对照注射，并在吸入测试物质五分钟后接受了挑战注射（相同剂量）。在12只健康、雄性、比格犬中测试的测试物质按空气体积计算，并未产生心脏致敏。根据这项实验研究，心脏致敏似乎不会对暴露于20%或以下浓度（空气中体积比）的测试物质或与N2O混合物（约20%的测试物质和~4%的 ，空气中体积比）的哺乳动物构成严重危害。

The potential of the test substance to sensitize the heart to a challenge of epinephrine injection was tested in beagle dogs. Beagle dogs received a control injection of epinephrine (0.008 mg/kg) intravenously prior to exposure and a challenge injection (same dosage) after breathing the test material for five minutes. The test substance on a volume to volume basis in air, did not produce cardiac sensitization in 12 healthy, male, beagle dogs which were tested. On the basis of this experimental study, cardiac sensitization does not appear to pose a serious hazard to mammals exposed to the test substance at a concentration of 20% or less (V/V in air), or a mixture with N2O at a concentration of 20% test substance and ~4% N2O (V/V in air).

来源:Hazardous Substances Data Bank (HSDB)

毒理性

• 相互作用

十五只兔子（30只眼睛）被分成3个实验组，同一动物的对侧眼睛作为对照组。A组和B组的眼睛每隔5天接受两次玻璃体注射15 IU的透明质酸酶。C组的眼镜和所有对照眼睛注射平衡盐溶液（BSS）。注射后7天，A组和C组的实验眼睛接受了0.5 mL的C(2)F(6)注射。在接下来的8周内检查眼和视网膜的迹象，然后杀死进行组织学检查。A组有5只眼睛（100.0%）显示玻璃体皮质与视网膜完全分离（PVD），B组有3只眼睛（60.0%）显示部分PVD，C组和所有对照眼睛未检测到PVD。在视网膜电图上，实验和对照眼睛的a-（或b-）波的振幅和潜伏期在实验前后没有显著差异。通过光镜或扫描电子显微镜检查，所有眼睛都没有显示出眼或视网膜毒性的证据。透明质酸酶结合全氟乙烷的玻璃体注射作为一种安全方法，可以在不进行机械玻璃体切割的情况下诱导后玻璃体脱离。

Fifteen rabbits (30 eyes) were divided into 3 experimental groups, the contralateral eyes in same animals served as the controls. Eyes in group A and B received two vitreous injections of 15 IU of hyaluronidase at an interval of 5 d. The eyes in group C and all control eyes were injected with balanced salt solution (BSS). Seven days after injection, the experimental eyes in group A and C received 0.5 mL of C(2)F(6) injection. The ocular and retinal signs were examined for 8 following weeks and then killed for histological examination. Five eyes in group A (100.0%) showed complete separation of the vitreous cortex from the retina (PVD), three eyes in group B (60.0%) showed partial PVD, and no PVD was detected in group C and all control eyes. On electroretinogram no significant difference was found in amplitude and latency of a-(or b-) wave in both experimental and control eyes, between before and after experiments. No evidence of ocular or retinal toxicity was revealed by light or scanning electronic microscopy in all eyes. Vitreous injection of hyaluronidase combined with perfluoroethane, as a safety method, can induce posterior vitreous detachment without mechanical vitrectomy.

来源:Hazardous Substances Data Bank (HSDB)

毒理性

• 解毒与急救

急救：如果此化学品进入眼睛，请立即取出隐形眼镜，并立即冲洗至少15分钟，不时提起上下眼睑。立即寻求医疗注意。如果此化学品接触到皮肤，请脱掉受污染的衣物，并立即用肥皂和水清洗。立即寻求医疗注意。如果吸入了此化学品，请远离暴露源，如果呼吸停止，开始进行急救呼吸（使用通用预防措施，包括复苏面罩），如果心脏停止则进行心肺复苏。迅速送往医疗机构。当此化学品被吞咽时，请寻求医疗注意。给予大量水并诱导呕吐。不要让昏迷的人呕吐。如果发生冻伤，请立即寻求医疗注意；不要揉搓受影响区域或用水冲洗。为了防止进一步的组织损伤，不要尝试从冻伤区域取下冻结的衣物。如果没有发生冻伤，请立即彻底用肥皂和水清洗受污染的皮肤。

First Aid: If this chemical gets into the eyes, remove any contact lenses at once and irrigate immediately for at least 15 min, occasionally lifting upper and lower lids. Seek medical attention immediately. If this chemical contacts the skin, remove contaminated clothing and wash immediately with soap and water. Seek medical attention immediately. If this chemical has been inhaled, remove from exposure, begin rescue breathing (using universal precautions, including resuscitation mask) if breathing has stopped and CPR if heart action has stopped. Transfer promptly to a medical facility. When this chemical has been swallowed, get medical attention. Give large quantities of water and induce vomiting. Do not make an unconscious person vomit. If frostbite has occurred, seek medical attention immediately; do NOT rub the affected areas or flush them with water. In order to prevent further tissue damage, do NOT attempt to remove frozen clothing from frostbitten areas. If frostbite has NOT occurred, immediately and thoroughly wash contaminated skin with soap and water.

来源:Hazardous Substances Data Bank (HSDB)

吸收、分配和排泄

三种气体，全氟甲烷、全氟乙烷和全氟丙烷（分别为CF4、C2F6和C3F8），被研究作为视网膜手术中玻璃体内填充物的可能价值。这些气体膨胀，并且随着碳链长度的增加，其眼内持久性也增加。0.4毫升的 注射进眼中可以保持六天，是等量空气的两倍； 可以保持16天，是空气的四倍多；而 可以保持28天，是空气的九倍，是六氟化硫的四倍。

Three gases, perfluoromethane, perfluoroethane, and perfluoropropane (CF4, C2F6, and C3 F8, respectively) were studied for their possible value as intravitreal tamponades in retinal surgery. The gases expand and have intraocular longevities that increase with the length of the carbon chain. A 0.4-cc injection of CF4, remained in the eye six days, twice as long as an equivalent amount of air; C2F6 remained 16 days, more than four times as long as air; and C3F8 remained 28 days, nine times as long as air and four times as long as sulfur hexafluoride.

来源:Hazardous Substances Data Bank (HSDB)

安全信息

• TSCA：
  T
• 危险等级：
  2.2
• 危险品标志：
  Xi
• 安全说明：
  S38
• WGK Germany：
  3
• 危险品运输编号：
  UN 2193 2.2
• RTECS号：
  KI4110000
• 包装等级：
  O53
• 危险类别：
  2.2
• 危险标志：
  GHS04
• 危险性描述：
  H280
• 危险性防范说明：
  P410 + P403
• 储存条件：
  常温下应存放在阴凉、通风的地方。

SDS

第一部分：化学品名称

化学品中文名称：	六氟乙烷；全氟乙烷
化学品英文名称：	Hexafluoroethane
中文俗名或商品名：
Synonyms：
CAS No.：	76-16-4
分子式：	C 2 F 6
分子量：	138

第二部分：成分/组成信息

纯化学品 混合物

化学品名称：六氟乙烷；全氟乙烷

有害物成分 含量 CAS No. 六氟乙烷 100

第三部分：危险性概述

危险性类别：	第2．2类 不燃气体
侵入途径：	吸入
健康危害：	本品可引起快速窒息。接触后引起头痛、恶心和眩晕。
环境危害：	对环境有危害，对水体和大气可造成污染，对大气臭氧层有极强破坏力。
燃爆危险：	本品不燃。

第四部分：急救措施

皮肤接触：
眼睛接触：
吸入：	脱离现场至空气新鲜处。呼吸困难时给输氧。呼吸停止时，立即进行人工呼吸。就医。
食入：

第五部分：消防措施

危险特性：	若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
有害燃烧产物：	氟化氢。
灭火方法及灭火剂：	切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。雾状水。
消防员的个体防护：	建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。尽可能切断泄漏源。
禁止使用的灭火剂：
闪点(℃)：	无意义
自燃温度(℃)：	无意义
爆炸下限[%(V/V)]：	无意义
爆炸上限[%(V/V)]：	无意义
最小点火能(mJ)：
爆燃点：
爆速：
最大燃爆压力(MPa)：
建规火险分级：

第六部分：泄漏应急处理

应急处理：

戴自给式呼吸器，穿工作服。切断气源，抽排(室内)或强力通风(室外)。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。

第七部分：操作处置与储存

操作注意事项：	密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具（半面罩）。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈，防止钢瓶碰撞、损坏。配备泄漏应急处理设备。
储存注意事项：	储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。应与氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

第八部分：接触控制/个体防护

最高容许浓度：	中 国 MAC：未制订标准前苏联MAC：未制订标准美国TLV—TWA：未制订标准美国
监测方法：
工程控制：	生产过程密闭，全面通风。
呼吸系统防护：	空气中浓度较高时，应该佩戴防毒面具。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴自给式呼吸器。
眼睛防护：	一般不需特殊防护。
身体防护：	穿工作服。
手防护：	一般不需特殊防护。
其他防护：	避免高浓度吸入。

第九部分：理化特性

外观与性状：	无色、无气味、非易燃的气体，在24．3℃以上时不能保持液态，通常装在耐高压钢瓶内。
pH：
熔点(℃)：	-101
沸点(℃)：	-78
相对密度(水=1)：	1．61
相对蒸气密度(空气=1)：	4．7
饱和蒸气压(kPa)：
燃烧热(kJ/mol)：
临界温度(℃)：
临界压力(MPa)：
辛醇/水分配系数的对数值：
闪点(℃)：	无意义
引燃温度(℃)：	无意义
爆炸上限%(V/V)：	无意义
爆炸下限%(V/V)：	无意义
分子式：	C 2 F 6
分子量：	138
蒸发速率：
粘性：
溶解性：
主要用途：	用作绝缘气、等离子蚀刻剂，高介电强度冷却剂。

第十部分：稳定性和反应活性

稳定性：	在常温常压下 稳定
禁配物：	强氧化剂。
避免接触的条件：
聚合危害：	不能出现
分解产物：	氟化氢。

第十一部分：毒理学资料

急性毒性：	属低毒类
急性中毒：
慢性中毒：
亚急性和慢性毒性：
刺激性：
致敏性：
致突变性：
致畸性：
致癌性：

第十二部分：生态学资料

生态毒理毒性：
生物降解性：
非生物降解性：
生物富集或生物积累性：

第十三部分：废弃处置

废弃物性质：
废弃处置方法：	根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。
废弃注意事项：

第十四部分：运输信息

危险货物编号：	22034
UN编号：	2193
包装标志：
包装类别：	Ⅲ
包装方法：	钢质气瓶。
运输注意事项：	采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与氧化剂等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。铁路运输时要禁止溜放。
RETCS号：
IMDG规则页码：

第十五部分：法规信息

国内化学品安全管理法规：	化学危险物品安全管理条例 (1987年2月17日国务院发布)，化学危险物品安全管理条例实施细则 (化劳发[1992] 677号)，工作场所安全使用化学品规定 ([1996]劳部发423号)等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92)将该物质划为第2.2 类不燃气体。
国际化学品安全管理法规：

第十六部分：其他信息

参考文献：	1.周国泰，化学危险品安全技术全书，化学工业出版社，1997 2.国家环保局有毒化学品管理办公室、北京化工研究院合编，化学品毒性法规环境数据手册，中国环境科学出版社.1992 3.Canadian Centre for Occupational Health and Safety,CHEMINFO Database.1998 4.Canadian Centre for Occupational Health and Safety, RTECS Database, 1989
填表时间：	年月日
填表部门：
数据审核单位：
修改说明：
其他信息：	3
MSDS修改日期：	年月日

制备方法与用途

简介

六氟乙烷在微电子工业中用于等离子蚀刻及表面清洗。它一直是Kanto Denka公司和另外两家日本公司的样品。Kanto Denka Kogyo计划在下一财政年度大规模工业化生产六氟乙烷，该产品作为下一代清洁气体应用于高集程度的半导体生产。自2001年起，六氟乙烷因其对半导体氧化膜具有超细清洁作用而逐渐引起人们的关注。相比之下，当接触到孔径为140纳米或更小的元件时，八氟丁烷则无法起到蚀刻作用。

应用

六氟乙烷ODP值（臭氧层破坏潜能值）为零，GWP值（温室效应能力）为9200。主要应用于低温制冷、电子清洗及蚀刻行业，少量用于医学手术以及新开发的领域。

制备

氟气或氮气与四氟乙烯从不同的进料口进入温度为10-60℃、压力为0.1～0.15 MPa的反应器中，控制气体在反应器中的空速为0.2-10min进行反应。部分反应产物通过循环设备离心风机返回反应器进口端，与进来的氟气或氮气及四氟乙烯混合后再次进入反应器，循环反应；另一部分产物从出料口直接产出，从而获得六氟乙烷。该方法工艺简单、反应条件温和、反应器价格便宜，并能制备高纯度且杂质含量低的产品。

化学性质

六氟乙烷化学式C2F6，纯度＞99.7%，是一种无色、无臭、无味的不可燃惰性气体。它微溶于水，熔点-100.6℃，沸点-78℃，液体密度为1.60g/ml。

生产方法

以活性炭与氟气为原料，在装有活性炭的反应炉中缓慢通入高浓度氟气。通过控制电加热、供氟速率和冷却反应炉来精确控制反应温度。反应产物经过除尘、碱洗、脱水处理后，可获得含CF4、 、C3F8的粗品。随后将粗品混合物进行间歇低温精馏，提取 ，并通过分子筛进一步低温吸附脱水，最终获得纯度大于99.7%的六氟乙烷。

类别

压缩气体和液化气体

毒性分级

低毒

急性毒性

吸入-大鼠 LC: 20000 PPM/2小时

储运特性

库房应通风、低温干燥，与易燃物分开存放。

灭火剂

水

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  六氟乙烷 在 氯 作用下， 生成 氟里昂-13
  参考文献：
  名称：

  Brice; Pearlson; Simons, Journal of the American Chemical Society, 1949, vol. 71, p. 2500

  摘要：

  DOI：
• 作为产物：
  描述：

  全氟异丁烯 生成 六氟乙烷
  参考文献：
  名称：

  401.四氟乙烯的热分解

  摘要：

  DOI：

  10.1039/jr9570002086
• 作为试剂：
  描述：

  溴甲烷 在 六氟乙烷 作用下， 生成 氟甲烷
  参考文献：
  名称：

  Observation of the nucleophilic displacement (SN2) reaction F− + CH3Br → CH3F + Br− Induced by dissociative electron capture in binary van der waals clusters

  摘要：

  AbstractWe report on the SN2 reaction F− + CH3Br → FCH3 + Br− in binary clusters composed of CH3Br and C2F6 in a crossed electron/molecular beam experiment. The reaction is induced by resonance dissociative electron attachment to the C2F6 component where the nucleophile F− is generated at an energy (around 3.8 eV) where CH3Br does not capture electrons to form Br−. The results indicate that the cross section for the SN2 reaction is independent of the total excess energy which can be varied between 1.7 and 5 eV in the present system.

  DOI：

  10.1002/bbpc.19971010218

文献信息

• One-step synthesis of CF3-1
  申请人：Honeywell International Inc.

  公开号：US07132578B1

  公开（公告）日：2006-11-07

  A process for the preparation of trifluoromethyl iodide is provided. The process includes the step of contacting in a reactor a compound represented by the formula: CF3—W and a compound represented by the formula: IFn wherein W can be H, Br, Cl, COOH, COCl, COOCH3, COOC2H5, COCH3, COPh, CF3, Si(CH3)3, SPh, SCH3, SSCF3, SSPh, SSCH3, or SO2Cl, wherein n is 1, 3, 5, or 7, and wherein the step of contacting is carried out, at a temperature, pressure and for a length of time sufficient to produce trifluoromethyl iodide. The contacting step can be carried out in the presence or absence of a catalyst and the contacting step can be carried out in the presence or absence of air.

  提供了一种制备三氟甲基碘的方法。该过程包括在反应器中接触一种由公式CF3—W表示的化合物和一种由公式IFn表示的化合物，其中W可以是H、Br、Cl、COOH、COCl、COO 、COOC2H5、CO 、COPh、 、Si(CH3)3、SPh、S 、SS 、SSPh、SS 或SO2Cl，其中n为1、3、5或7，并且所述接触步骤在足以产生三氟甲基碘的温度、压力下进行，并持续一定时间。接触步骤可以在有或没有催化剂的情况下进行，接触步骤可以在有或没有空气的情况下进行。
• The electronic absorption spectrum of the trifluoromethyl radical
  作者：N. Basco、F.G.M. Hathorn

  DOI：10.1016/0009-2614(71)85015-7

  日期：1971.2

  An electronic absorption spectrum in the region 165 nm to 146 nm has been assigned to the CF3 radical. The rate constant for the mutual combination of CF3 radicals at ≈ 300°K and a total pressure of 100 torr argon is ≈ 3×1012 cm3 mole−1 sec−1.

  165 nm至146 nm范围内的电子吸收光谱已分配给CF 3自由基。CF 3自由基在≈300°K和100托氩气的总压力下相互结合的速率常数为≈3×10 12 cm 3 mole -1 sec -1。
• A new synthesis for methyl/trifluoromethyl organometallic compounds by low temperature cocondensation of trifluoromethyl radicals and main group methyl alkyls
  作者：M.A. Guerra、R.L. Armstrong、W.I. Bailey、R.J. Lagow

  DOI：10.1016/0022-328x(83)85116-x

  日期：1983.9

  The reaction of trifluoromethyl radicals produced in a radio frequency discharge of hexafluoroethane with trimethylphosphine, tetramethyltin, dimethylmercury, tri-methylbismuth and tetramethyllead gave complexes with methyl and trifluoromethyl substituents. The compounds dimethyl(trifluoromethyl)phosphine, trimethyl(trifluoromethyl)tin, methyl(trifluoromethyl)mercury, bis(trifluoromethyl)mercury, dim

  在六氟乙烷的射频放电中产生的三氟甲基自由基与三甲基膦，四甲基锡，二甲基汞，三甲基铋和四甲基铅的反应生成了具有甲基和三氟甲基取代基的配合物。化合物二甲基（三氟甲基）膦，三甲基（三氟甲基）锡，甲基（三氟甲基）汞，双（三氟甲基）汞，二甲基（三氟甲基）铋，双（三氟甲基）甲基铋，三甲基（三氟甲基）铅和双（三氟甲基）二甲基铅与新化合物三（三氟甲基）甲基铅分离。报道了化合物的合成和物理性质。
• Synthesis of trifluoromethyl-substituted compounds
  申请人：Massachusetts Institute of Technology

  公开号：US03954585A1

  公开（公告）日：1976-05-04

  Trifluoromethyl-substituted compounds are formed in a corona discharge or glow discharge plasma of trifluoromethyl radicals from an organic trifluoromethyl source. A substrate possessing easily replaceable ligands such as halogen or carbonyl, is initially contacted either in the plasma and within a short distance from a downstream visible edge of the plasma or outside of the visible portion of the plasma and within a short distance from the downstream visible edge, to effect a substitution of the halogen or carbonyl ligand on the substrate with a trifluoromethyl radical without substantial decomposition of the substrate.

  三氟甲基取代化合物是在三氟甲基自由基的有机三氟甲基源中，通过电晕放电或辉光放电等离子体形成的。一种具有易于替换配体（如卤素或羰基）的基质，最初在等离子体中或在等离子体下游可见边缘的短距离内接触，或者在等离子体可见部分外部但在下游可见边缘的短距离内接触，以实现基质上的卤素或羰基配体与三氟甲基自由基的替换，而不会对基质造成显著分解。
• Production and use of hexafluoroethane
  申请人：——

  公开号：US20040015022A1

  公开（公告）日：2004-01-22

  A process for production of high-purity hexafluoroethane, wherein a mixed gas containing hexafluoroethane and chlorotrifluoromethane is reacted with hydrogen fluoride in a gas phase in the presence of a fluorination catalyst at 200-450° C., for fluorination of the chlorotrifluoromethane, or wherein pentafluoroethane containing chlorine compounds with 1-3 carbon atoms is reacted with hydrogen in a gas phase in the presence of a hydrogenation catalyst at 150-400° C., and the product is then reacted with fluorine in a gas phase in the presence of a diluent gas.

  一种生产高纯度六氟乙烷的工艺，其中含有六氟乙烷和氯三氟甲烷的混合气体在气相中在存在氟化催化剂的情况下与氢氟酸在200-450°C下反应，用于氯三氟甲烷的氟化，或者含有1-3个碳原子的氯化合物的五氟乙烷与氢气在存在氢化催化剂的情况下在150-400°C下在气相中反应，然后在存在稀释气体的情况下与氟气在气相中反应。

表征谱图