申请人:YAS Co.Ltd. 주식회사 야스(120020419528) Corp. No ▼ 110111-2494451BRN ▼110-81-56305
公开号:KR20190000162U
公开(公告)日:2019-01-16
본 고안의 목적은 플립 수단의 플립 동작을 개선하여 택 타임을 좀 더 단축시키고자 하는 데 있다. 상기 목적에 따라 본 고안은, 플립 수단으로 하여금, 기판/척 플레이트 합착체를 인계받아 고정 후 180도 회전 후, 기판/척 플레이트를 플립 수단에서 분리하여 로딩 챔버로 보낸 후, 다시 플립하던 종래 방식에서 벗어나, 플립 동작 없이 180도 회전된 상태 그대로 상면에 기판/척 플레이트 합착체를 탑재되게 하고, 180도 회전하여 기판/척 플레이트를 플립 수단에서 분리하여 로딩 챔버로 보내도록 하였다.
本发明的目的是改善翻转装置的翻转操作,以缩短切换时间。根据上述目的,本发明使翻转装置在接收基板/夹具板组合并固定后进行180度旋转,然后将基板/夹具板从翻转装置分离并送入装载腔室,摆脱传统的翻转方式,使基板/夹具板组合在180度旋转的状态下直接安装在上表面,然后再进行180度旋转并将基板/夹具板从翻转装置分离并送入装载腔室。