本发明公开了一种三
氟磺酰胺1,4‑二氧螺环[4,5]
癸烷类光刻胶
树脂单体及其制备方法,三
氟磺酰胺1,4‑二氧螺环[4,5]
癸烷类光刻胶
树脂单体,包括以下结构通式:其中,R包括氢、卤素、C1~C12烷基或杂烷基,其制备方法包括以下步骤:将三
氟磺酰类化合物物加入到
氨基1,4‑二氧螺环[4,5]
癸烷醇类化合和碱的混合液中,反应得到三
氟磺酰胺1,4‑二氧螺环[4,5]
癸烷醇类化合物;将三
氟磺酰胺1,4‑二氧螺环[4,5]
癸烷醇类化合物与
丙烯酸类化合物混合,经过酯化反应,纯化得到三
氟磺酰胺1,4‑二氧螺环[4,5]
癸烷类光刻胶
树脂单体。本发明合成的三
氟磺酰胺1,4‑二氧螺环[4,5]
癸烷类光刻胶
树脂单体具有抗溶胀、碱溶性和疏
水性,且制备方法简单方便。