申请人:SAMSUNG SDI CO., LTD. 삼성에스디아이 주식회사(119980018058) Corp. No ▼ 110111-0394174BRN ▼124-81-31282
公开号:KR20160008928A
公开(公告)日:2016-01-25
하기 화학식 1로 표현되는 하드마스크 조성물용 모노머, 상기 모노머를 포함하는 하드마스크 조성물 및 상기 하드마스크 조성물을 사용한 패턴 형성 방법에 관한 것이다. [화학식 1] 상기 화학식 1에서, T, R, R 및 R의 정의는 명세서에 기재된 바와 같다.
这是关于用化学式1表示的硬掩模组合物的单体,包含上述单体的硬掩模组合物以及使用上述硬掩模组合物的图案形成方法。在上述化学式1中,T、R、R和R的定义如规范中所述。