【課題】良好なCD均一性(CDU)でレジストパターンを製造することができる塩、これを含むレジスト組成物及びレジストパターンの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】式(I)で表される塩、これを含むレジスト組成物及びレジストパターンの製造方法。[式中、Q1及びQ2は、それぞれ独立に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基を表す。R1及びR2は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基を表す。zは、0〜6の整数を表す。X1は、*−CO−O−、*−O−CO−、*−O−CO−O−又は*−O−を表し、*は、C(R1)(R2)又はC(Q1)(Q2)との結合位を表す。A1は、直鎖又は分岐の2価の飽和脂肪族炭化水素基を表す。R3及びR4は、それぞれ独立に、フッ素化アルキル基を表す。Z+は、有機カチオンを表す。]【選択図】なし
这个问题描述的是提供一种能够制造具有良好CD均一性(CDU)的光刻胶图案的盐,包括这种盐的光刻胶组合物和制造光刻胶图案的方法。解决方案是一种由式(I)表示的盐,包括这种盐的光刻胶组合物和制造光刻胶图案的方法。【式中,Q1和Q2分别独立表示
氟原子或
全氟烷基。R1和R2分别独立表示氢原子、
氟原子或
全氟烷基。z表示0到6的整数。X1表示*−CO−O−、*−O−CO−、*−O−CO−O−或*−O−,*表示与C(R1)(R2)或C(Q1)(Q2)的结合位。A1表示直链或支链的二价饱和脂肪族烃基。R3和R4分别独立表示
氟化烷基。Z+表示有机阳离子。】【选择图】无