申请人:CIBA-GEIGY AG
公开号:EP0307356A2
公开(公告)日:1989-03-15
Organometallhaltige Styrolderivate der Formel I
worin zum Beispiel M Si, X, O, R1 und R2 Wasserstaff, R4 bis R6 je Methyl, a Null und R7 Wasserstoff oder Methyl bedeuten,und organometallhaltige Verbindungen der Formel VII
worin M und R1 bis R6 z.B. die oben angegebene Bedeutung haben und Y beispielsweise 4-Nitrophenoxy ist, sind wertvolle Ausgangsstoffe für die Herstellung von organometallhaltigen Polymeren. Die Polymeren eignen sich zur Herstellung von trockenentwickelbaren Phatoresists, wie sie bei der Erzeugung von strukturierten Bildern, insbesondere in der Mikroelektronik, benötigt werden.
式 I 的有机金属苯乙烯衍生物
其中 M 是 Si,X,O,R1 和 R2 是氢,R4 至 R6 各为甲基,a 为零,R7 是氢或甲基,以及式 VII 的有机金属化合物,其中 M 和 R1 至 R6 具有上述含义,Y 是例如 4-硝基苯氧基。
式中 M 和 R1 至 R6 的含义如上文所述,Y 如为 4-硝基苯氧基,是生产有机金属聚合物的重要起始原料。这种聚合物适用于生产干显影光致抗蚀剂,尤其适用于微电子学中结构图像的生产。