A metal oxide-containing film is formed from a heat curable composition comprising (A) a metal oxide-containing compound obtained through hydrolytic condensation between a hydrolyzable silicon compound and a hydrolyzable metal compound, (B) a hydroxide or organic acid salt of Li, Na, K, Rb or Cs, or a sulfonium, iodonium or ammonium compound, (C) an organic acid, and (D) an organic solvent. The metal oxide-containing film ensures effective pattern formation.
一种含金属氧化物的薄膜由一种热固化组合物形成,该组合物包括:(A) 通过可
水解
硅化合物和可
水解
金属化合物之间的
水解缩合获得的含金属氧化物化合物;(B) Li、Na、K、Rb 或 Cs 的氢氧化物或有机酸盐,或锍、
碘或
铵化合物;(C) 有机酸;以及 (D) 有机溶剂。含金属氧化物的薄膜可确保有效的图案形成。