[EN] FLUORINE-CONTAINING COMPOUND, FLUORINE-CONTAINING POLYMER COMPOUND, RESIST COMPOSITION, TOP COAT COMPOSITION AND PATTERN FORMATION METHOD<br/>[FR] COMPOSÉ FLUORÉ, COMPOSÉ DE POLYMÈRE FLUORÉ, COMPOSITION DE RÉSERVE, COMPOSITION DE REVÊTEMENT SUPÉRIEUR ET PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN MOTIF
申请人:CENTRAL GLASS CO LTD
公开号:WO2010140483A1
公开(公告)日:2010-12-09
本発明の含フッ素高分子化合物は、一般式(2)で表される繰り返し単位(a)を含み、質量平均分子量1,000~1,000,000の樹脂である。該樹脂は、300nm以下の波長の高エネルギー線又は電子線を用いてパターンを形成するレジスト組成物、及び液浸リソグラフィーにおけるトップコート組成物に好適に使用でき、撥水性、特に後退接触角が大きいことを特徴とする。 (式中、R1は重合性二重結合含有基を示し、R2はフッ素原子又は含フッ素アルキル基を示し、R8は置換もしくは非置換のアルキル基などを示し、W1は単結合、非置換もしくは置換メチレン基などを示す。)