申请人:SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤(519980708960)
公开号:KR101723710B1
公开(公告)日:2017-04-05
[해결수단] 화학식 (1)로 표시되는 단량체. (R은 수소 원자, 메틸기 또는 트리플루오로메틸기를 나타낸다. R, R은 1가의 탄화수소기, R∼R는 수소 원자 또는 1가의 탄화수소기를 나타낸다. R은 1가의 탄화수소기 또는 불소화 탄화수소기, A은 2가의 탄화수소기, k은 0 또는 1의 정수, n는 0∼2의 정수) [효과] 본 발명의 단량체로부터 얻어지는 반복 단위를 포함하는 고분자 화합물을 포함하는 포토레지스트막은, 유기 용제 현상에 있어서의 포지티브 네거티브 반전의 화상 형성에 있어서, 미노광 부분의 용해성이 높다.
“解决方案”以化学式(1)表示的单体。 (其中R代表氢原子,甲基或三氟甲基。 R,R表示1个碳氢基,R∼R表示氢原子或1个碳氢基。 R表示1个碳氢基或氟化碳氢基,A表示2个碳氢基,k是0或1的整数,n是0∼2的整数)[效果] 包含从本发明的单体中获得的包含重复单元的高分子化合物的光阻膜,在有机溶剂现象中的正负图像形成中,具有高的溶解性。”