substituents on the keto, imino, and ether sites of the ligand. Direct comparison with conventional lanthanide beta-diketonate complexes reveals that the present precursor class is a superior choice for lanthanide oxide MOCVD. Epitaxial CeO(2) buffer layer films can be grown on (001) YSZ substrates by MOCVD at significantly lower temperatures (450-650 degrees C) than previously possible by using one
已开发出一类新型的挥发性,低熔点,无
氟镧系
金属有机
化学气相沉积(MOCVD)前体。中性单体Ce,Nd,Gd和Er络合物被通用的多齿醚官能化β-酮
亚胺基
配体系列配位饱和,可通过改变酮基上的烷基取代基来调节其熔点和挥发性,亚
氨基和
配体的醚位。与常规
镧系元素
β-二酮酸酯络合物的直接比较表明,当前的前体类别是
氧化镧系元素MOCVD的绝佳选择。外延CeO(2)缓冲层膜可以通过MOCVD在(001)YSZ衬底上以比以前使用新开发的β-酮化
铈铈前体低得多的温度(450-650摄氏度)生长。在540摄氏度下沉积的薄膜具有良好的面外(Deltaomega = 0.85摄氏度)和面内(Deltaphi = 1.65摄氏度)对准和光滑表面(均方根粗糙度约为4.3 A)。随着沉积温度的升高,膜的生长速率降低并且膜趋于平滑。通过脉冲有机
金属分子束外延在这些CeO(2)缓冲层上生长的高质量
钇钡铜氧化物(YBCO)膜表现出非常好的电传输性能(T(c)=