Negativ arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch und damit hergestelltes strahlungsempfindliches Aufzeichnungsmaterial
申请人:HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT
公开号:EP0510446A1
公开(公告)日:1992-10-28
Die Erfindung betrifft ein negativ arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch mit
a) einer Verbindung, die unter Einwirkung von aktinischer Strahlung eine starke Säure bildet,
b) einer Verbindung mit mindestens zwei durch Säure vernetzbaren Gruppen und
c) einem in Wasser unlöslichen, in wäßrig-alkalischen Lösungen löslichen oder zumindest quellbaren polymeren Bindemittel,
das dadurch gekennzeichnet ist, daß die Verbindung (a) ein mit 2, 3 oder 4 Sulfonsäuren der allgemeinen Formel R-SO₃H verestertes Di-, Tri- bzw. Tetrahydroxybenzol, das ggf. noch mit einem Rest R' substituiert ist, darstellt, wobei R und R' gleiche oder verschiedene Bedeutung haben und R einen ggf. weiter substituierten (C₁-C₁₀)Alkyl-, (C₅-C₁₀)Cycloalkyl-, (C₆-C₁₀)Aryl-, (C₆-C₁₀)Aryl-(C₁-C₁₀)alkyl- oder (C₃-C₉)Heteroarylrest und R' einen der für R genannten Reste, einen (C₁-C₁₀)Alkanoyl-, (C₁-C₁₆)Alkoxycarbonyl- oder einen (C₇-C₁₁)Aroylrest bezeichnet.
Das erfindungsgemäße, strahlungsempfindliche Gemisch zeichnet sich durch eine hohe Auflösung und eine hohe Empfindlichkeit über einem weiten Spektralbereich aus. Es zeigt ebenso eine hohe thermische Stabilität und bildet bei Belichtung keine korrodierenden Photolyseprodukte. Die Erfindung betrifft weiterhin ein daraus hergestelltes, strahlungsempfindliches Aufzeichnungsmaterial, das zur Herstellung von Photoresists, elektronischen Bauteilen, Druckplatten oder zum Formteilätzen geeignet ist.
本发明涉及一种消极工作的辐射敏感混合物,其中含有
a) 一种化合物,该化合物在受到辐照时会形成一种强酸、
b) 具有至少两个可交联酸性基团的化合物,以及
c) 不溶于水、可溶于或至少可溶于碱性水溶液的聚合物粘合剂、
其特征在于,化合物 (a) 是二羟基、三羟基或四羟基苯与通式为 R-SO₃H的 2、3 或 4 个磺酸酯化而成,可任选地被自由基 R'进一步取代,其中 R 和 R'具有相同或不同的含义,R 是任选被进一步取代的(C₃H)自由基。表示被进一步取代的(C₁-C₁₀)烷基、(C₅-C₁₀)环烷基、(C₆-C₁₀)芳基、(C₆-C₁₀)芳基-(C₁-C₁₀)烷基或(C₃-C₉)杂芳基,且 R' 是上述 R 的基团之一、表示(C₁-C₁₀)烷酰基、(C₁-C₁₆)烷氧羰基或(C₇-C₁₁)酰基。
本发明的辐射敏感混合物在宽光谱范围内具有高分辨率和高灵敏度的特点。它还具有高热稳定性,在光照下不会形成腐蚀性光解产物。本发明还涉及用其生产的辐射敏感记录材料,该材料适用于生产光刻胶、电子元件、印刷板或用于模制件蚀刻。