四(二甲氨基)锡 | 1066-77-9

• 物质功能分类: 有机原料 - 有机金属类化合物 - 有机锡
• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机氮化合物
• 中文名称: 四(二甲氨基)锡
• 中文别名: 四（二甲基氨基）锡(IV)
• 英文名称: tetrakis(dimethylamino)tin
• 英文别名: tetradimethylaminotin；N-methyl-N-[tris(dimethylamino)stannyl]methanamine
• CAS: 1066-77-9
• 化学式: C₈H₂₄N₄Sn
• mdl: MFCD00014860
• 分子量: 295.015
• InChiKey: WHXTVQNIFGXMSB-UHFFFAOYSA-N

物化性质

• 沸点：
  53-55 °C (0.1 mmHg)
• 密度：
  1.17
• 闪点：
  -7 °C
• 稳定性/保质期：
  对水非常敏感。

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  -6.35
• 重原子数：
  13
• 可旋转键数：
  0
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  4
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  4

安全信息

• TSCA：
  No
• 危险品标志：
  F,C
• 安全说明：
  S16,S26,S36/37/39,S45
• 危险类别码：
  R20/21/22,R34
• WGK Germany：
  3
• 危险标志：
  GHS02,GHS05,GHS07
• 危险品运输编号：
  UN 2924
• 危险性描述：
  H225,H302 + H312 + H332,H314
• 危险性防范说明：
  P210,P280,P305 + P351 + P338,P310
• 储存条件：
  应密封储存在阴凉、干燥的库房中，并远离火源和易燃易爆区域。

SDS

---

模块 1. 化学品
1.1 产品标识符
: 四(二甲氨基)锡
产品名称
1.2 鉴别的其他方法
Tin(IV) dimethylamide
1.3 有关的确定了的物质或混合物的用途和建议不适合的用途
仅用于研发。不作为药品、家庭或其它用途。

---

模块 2. 危险性概述
2.1 GHS-分类
易燃液体 (类别 2)
急性毒性, 经口 (类别 4)
急性毒性, 吸入 (类别 4)
急性毒性, 经皮 (类别 4)
皮肤腐蚀 (类别 1B)
严重眼睛损伤 (类别 1)
2.2 GHS 标记要素，包括预防性的陈述
象形图
警示词 危险
危险申明
H225 高度易燃液体和蒸气
H302 + H312 + H332 如果咽下,与皮肤接触或吸入是有害的。
H314 造成严重皮肤灼伤和眼损伤。
警告申明
预防措施
P210 远离热源、火花、明火和热表面。- 禁止吸烟。
P233 保持容器密闭。
P240 容器和接收设备接地。
P241 使用防爆的电气/ 通风/ 照明 设备。
P242 只能使用不产生火花的工具。
P243 采取措施，防止静电放电。
P261 避免吸入粉尘/烟/气体/烟雾/蒸气/喷雾.
P264 操作后彻底清洁皮肤。
P270 使用本产品时不要进食、饮水或吸烟。
P271 只能在室外或通风良好之处使用。
P280 戴防护手套/穿防护服/戴护目镜/戴面罩.
事故响应
P301 + P312 如果吞咽并觉不适: 立即呼叫解毒中心或就医。
P301 + P330 + P331 如果吞咽：漱口，不要催吐。
P303 + P361 + P353 如果皮肤（或头发）接触：立即除去∕脱掉所有沾污的衣物。用水清洗皮肤∕
淋浴。
P304 + P340 如果吸入：将受害人移至空气新鲜处并保持呼吸舒适的姿势休息。
P305 + P351 + P338 如与眼睛接触，用水缓慢温和地冲洗几分钟。如戴隐形眼镜并可方便地取
出，取出隐形眼镜，然后继续冲洗.
P310 立即呼叫中毒控制中心或医生.
P321 具体处置（见本标签上提供的急救指导）。
P362 + P364 脱掉玷污的衣服，清洗后方可再用。
P363 沾污的衣服清洗后方可再用。
P370 + P378 在发生火灾时：用干砂，干粉或抗溶性泡沫扑灭。
安全储存
P403 + P235 保持低温，存放于通风良好处。
P405 存放处须加锁。
废弃处置
P501 将内容物/ 容器处理到得到批准的废物处理厂。
2.3 其它危害物
恶臭

---

模块 3. 成分/组成信息
3.1 物 质
: Tin(IV) dimethylamide
别名
: C8H24N4Sn
分子式
: 295.01 g/mol
分子量
组分 浓度或浓度范围
Tetrakis(dimethylamino)tin
<=100%
化学文摘登记号(CAS 1066-77-9
No.)

---

模块 4. 急救措施
4.1 必要的急救措施描述
一般的建议
请教医生。 向到现场的医生出示此安全技术说明书。
吸入
如果吸入,请将患者移到新鲜空气处。 如呼吸停止,进行人工呼吸。 请教医生。
皮肤接触
立即脱掉被污染的衣服和鞋。 用肥皂和大量的水冲洗。 请教医生。
眼睛接触
用大量水彻底冲洗至少15分钟并请教医生。
食入
禁止催吐。 切勿给失去知觉者通过口喂任何东西。 用水漱口。 请教医生。
4.2 主要症状和影响，急性和迟发效应
恶心, 头痛, 呕吐, 该物质对粘膜组织和上呼吸道、眼睛和皮肤破坏巨大。, 痉挛，发炎，咽喉肿痛,
痉挛，发炎，支气管炎, 肺炎, 肺水肿, 灼伤感：, 咳嗽, 喘息, 喉炎
4.3 及时的医疗处理和所需的特殊处理的说明和指示
无数据资料

---

模块 5. 消防措施
5.1 灭火介质
灭火方法及灭火剂
用水雾,抗乙醇泡沫,干粉或二氧化碳灭火。
5.2 源于此物质或混合物的特别的危害
碳氧化物, 氮氧化物, 锡/氧化锡
5.3 给消防员的建议
如必要的话,戴自给式呼吸器去救火。
5.4 进一步信息
用水喷雾冷却未打开的容器。

---

模块 6. 泄露应急处理
6.1 作业人员防护措施、防护装备和应急处置程序
使用个人防护用品。 避免吸入蒸气、烟雾或气体。 保证充分的通风。 移去所有火源。
人员疏散到安全区域。 谨防蒸气积累达到可爆炸的浓度。蒸气能在低洼处积聚。
6.2 环境保护措施
如能确保安全，可采取措施防止进一步的泄漏或溢出。 不要让产品进入下水道。
6.3 泄漏化学品的收容、清除方法及所使用的处置材料
围堵溢出，用防电真空清洁器或湿刷子将溢出物收集起来，并放置到容器中去,根据当地规定处理(见第13部
分)。
6.4 参考其他部分
丢弃处理请参阅第13节。

---

模块 7. 操作处置与储存
7.1 安全操作的注意事项
避免接触皮肤和眼睛。 避免吸入蒸气和烟雾。
切勿靠近火源。－严禁烟火。采取措施防止静电积聚。
7.2 安全储存的条件,包括任何不兼容性
贮存在阴凉处。 使容器保持密闭，储存在干燥通风处。
打开了的容器必须仔细重新封口并保持竖放位置以防止泄漏。
充气操作和储存 对水和潮气敏感。
7.3 特定用途
无数据资料

---

模块 8. 接触控制和个体防护
8.1 容许浓度
最高容许浓度
没有已知的国家规定的暴露极限。
8.2 暴露控制
适当的技术控制
根据良好的工业卫生和安全规范进行操作。 休息前和工作结束时洗手。
个体防护设备
眼/面保护
紧密装配的防护眼镜请使用经官方标准如NIOSH (美国) 或 EN 166(欧盟)
检测与批准的设备防护眼部。
皮肤保护
戴手套取 手套在使用前必须受检查。
请使用合适的方法脱除手套(不要接触手套外部表面),避免任何皮肤部位接触此产品.
使用后请将被污染过的手套根据相关法律法规和有效的实验室规章程序谨慎处理. 请清洗并吹干双手
所选择的保护手套必须符合EU的89/686/EEC规定和从它衍生出来的EN 376标准。
身体保护
全套防化学试剂工作服, 阻燃防静电防护服,
防护设备的类型必须根据特定工作场所中的危险物的浓度和数量来选择。
呼吸系统防护
如危险性评测显示需要使用空气净化的防毒面具，请使用全面罩式多功能防毒面具（US）或ABEK型
（EN
14387）防毒面具筒作为工程控制的候补。如果防毒面具是保护的唯一方式，则使用全面罩式送风防
毒面具。 呼吸器使用经过测试并通过政府标准如NIOSH（US）或CEN（EU）的呼吸器和零件。

---

模块 9. 理化特性
9.1 基本的理化特性的信息
a) 外观与性状
形状: 液体
b) 气味
无数据资料
c) 气味阈值
无数据资料
d) pH值
无数据资料
e) 熔点/凝固点
无数据资料
f) 沸点、初沸点和沸程
53 - 55 °C 在 1,013 hPa
g) 闪点
-7.8 °C - 闭杯
h) 蒸发速率
无数据资料
i) 易燃性(固体,气体)
无数据资料
j) 高的/低的燃烧性或爆炸性限度 无数据资料
k) 蒸气压
无数据资料
l) 蒸汽密度
无数据资料
m) 密度/相对密度
1.169 g/cm3
n) 水溶性
无数据资料
o) n-辛醇/水分配系数
无数据资料
p) 自燃温度
无数据资料
q) 分解温度
无数据资料
r) 粘度
无数据资料

---

模块 10. 稳定性和反应活性
10.1 反应性
无数据资料
10.2 稳定性
无数据资料
10.3 危险反应
无数据资料
10.4 应避免的条件
热,火焰和火花。 极端温度和直接日晒。
10.5 不相容的物质
强氧化剂, 强酸
10.6 危险的分解产物
其它分解产物 - 无数据资料

---

模块 11. 毒理学资料
11.1 毒理学影响的信息
急性毒性
无数据资料
皮肤刺激或腐蚀
无数据资料
眼睛刺激或腐蚀
无数据资料
呼吸道或皮肤过敏
无数据资料
生殖细胞致突变性
致癌性
IARC:
此产品中没有大于或等于 0。1%含量的组分被 IARC鉴别为可能的或肯定的人类致癌物。
生殖毒性
特异性靶器官系统毒性（一次接触）
无数据资料
特异性靶器官系统毒性（反复接触）
无数据资料
吸入危险
无数据资料
潜在的健康影响
吸入 吸入有害。 该物质对组织、粘膜和上呼吸道破坏力强
摄入 误吞对人体有害。 引致灼伤。
皮肤 通过皮肤吸收有害。 引起皮肤灼伤。
眼睛 引起眼睛灼伤。
接触后的征兆和症状
恶心, 头痛, 呕吐, 该物质对粘膜组织和上呼吸道、眼睛和皮肤破坏巨大。, 痉挛，发炎，咽喉肿痛,
痉挛，发炎，支气管炎, 肺炎, 肺水肿, 灼伤感：, 咳嗽, 喘息, 喉炎
附加说明
化学物质毒性作用登记: 无数据资料

---

模块 12. 生态学资料
12.1 生态毒性
无数据资料
12.2 持久性和降解性
无数据资料
12.3 潜在的生物累积性
无数据资料
12.4 土壤中的迁移性
无数据资料
12.5 PBT 和 vPvB的结果评价
无数据资料
12.6 其它不良影响
无数据资料

---

模块 13. 废弃处置
13.1 废物处理方法
产品
在装备有加力燃烧室和洗刷设备的化学焚烧炉内燃烧处理,特别在点燃的时候要注意,因为此物质是高度易燃
性物质 将剩余的和不可回收的溶液交给有许可证的公司处理。
受污染的容器和包装
按未用产品处置。

---

模块 14. 运输信息
14.1 联合国危险货物编号
欧洲陆运危规: 2924 国际海运危规: 2924 国际空运危规: 2924
14.2 联合国运输名称
欧洲陆运危规: FLAMMABLE LIQUID, CORROSIVE, N.O.S. (Tetrakis(dimethylamino)tin)
国际海运危规: FLAMMABLE LIQUID, CORROSIVE, N.O.S. (Tetrakis(dimethylamino)tin)
国际空运危规: Flammable liquid, corrosive, n.o.s. (Tetrakis(dimethylamino)tin)
14.3 运输危险类别
欧洲陆运危规: 3 (8) 国际海运危规: 3 (8) 国际空运危规: 3 (8)
14.4 包裹组
欧洲陆运危规: II 国际海运危规: II 国际空运危规: II
14.5 环境危险
欧洲陆运危规: 否 国际海运危规 国际空运危规: 否
海洋污染物（是/否）: 否
14.6 对使用者的特别提醒
无数据资料
若适用，该化学品满足《危险化学品安全管理条例》 的要求。

---

模块 16. 其他信息
进一步信息
版权所有：2013 Co. LLC. 公司。许可无限制纸张拷贝，仅限于内部使用。
上述信息视为正确，但不包含所有的信息，仅作为指引使用。本文件中的信息是基于我们目前所知，就正
确的安全提示来说适用于本品。该信息不代表对此产品性质的保证。
参见发票或包装条的反面。

---

模块 15 - 法规信息
N/A

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  四(二甲氨基)锡 以 neat (no solvent) 为溶剂， 生成 tin
  参考文献：
  名称：

  Spaltung der zinn-stickstoff-bindung：（二烷基氨基）-锡烷和异氰酸酯

  摘要：

  据报道，某些（二烷基氨基）锡烷的制备和化学性质以及它们的烷基化是通过锡-氮键的裂解来进行的。在可比较的条件下测量了氨基stannanes的1 H-NMR光谱并进行了讨论。

  DOI：

  10.1016/s0022-328x(00)81111-0
• 作为产物：
  描述：

  四氯化锡 、 lithium diisopropyl amide 以 乙醚 、 正己烷 为溶剂， 反应 8.0h， 以70%的产率得到四(二甲氨基)锡
  参考文献：
  名称：

  TIN COMPOUND, METHOD OF SYNTHESIZING THE SAME, TIN PRECURSOR COMPOUND FOR ATOMIC LAYER DEPOSITION, AND METHOD OF FORMING TIN-CONTAINING MATERIAL FILM

  摘要：

  一种锡化合物，用于原子层沉积（ALD）的锡前体化合物，一种形成含锡材料薄膜的方法，以及一种合成锡化合物的方法，其中锡化合物由化学式（I）表示：其中R1、R2、Q1、Q2、Q3和Q4分别独立地是Cl至C4的直链或支链烷基基团。

  公开号：

  US20180155372A1
• 作为试剂：
  描述：

  Methansulfono-bis(methylimid)-methylamid 在 四(二甲氨基)锡 作用下， 以 苯 为溶剂， 生成
  参考文献：
  名称：

  甲磺酸双（甲基亚胺基）-甲基ami甾烷：新分子与合成：合成与1 H-NMR-化学计量学

  摘要：

  通过对氨基苯甲酸胺Me n Sn（NMe 2）4- n进行氨基转移反应制备了一般成分为Me n Sn [MeS（NMe）2 NMe] 4- n（n = 0、1、2或3）的甲磺酰基双（甲基酰亚胺）甲基ami丹酮（n = 0、1、2或3）与甲磺双（甲基酰亚胺）甲基酰胺，MeS（NMe）2 NHMe。这些化合物的质子共振谱示出了在温度范围从-60°到+ 110°只对连接于氮的甲基质子的单个信号，和两个卫星对属于1 HCN 119分之117锡耦合。它们相对于主信号的强度与锡同位素117 Sn和119 Sn的自然浓度一致。光谱数据表明分子内交换现象类似于用IVB族重元素的环戊二烯基衍生物进行的观察。

  DOI：

  10.1016/s0022-328x(00)93115-2

文献信息

• [EN] ORGANOMETALLIC COMPOUNDS AND METHODS FOR THE DEPOSITION OF HIGH PURITY TIN OXIDE<br/>[FR] COMPOSÉS ORGANOMÉTALLIQUES ET PROCÉDÉS DE DÉPÔT D'OXYDE D'ÉTAIN DE HAUTE PURETÉ
  申请人：SEASTAR CHEMICALS INC

  公开号：WO2019023797A1

  公开（公告）日：2019-02-07

  Disclosed herein are compounds useful for the deposition of high purity tin oxide. Also disclose are methods for the deposition of tin oxide films using such compounds. Such films demonstrate high conformality, high etch selectivity and are optically transparent. Such compounds are those of the Formula as follows R x -Sn-A 4-x wherein: A is selected from the group consisting of (Y a R' z ) and a 3- to 7-membered N- containing heterocyclic group; each R group is independently selected from the group consisting of an alkyl or aryl group having from 1 to 10 carbon atoms; each R' group is independently selected from the group consisting of an alkyl, acyl or aryl group having from 1 to 10 carbon atoms; x is an integer from 0 to 4; a is an integer from 0 to 1; Y is selected from the group consisting of N, O, S, and P; and z is 1 when Y is O, S or when Y is absent and z is 2 when Y is N or P.

  本文揭示了用于沉积高纯度氧化锡的化合物。还披露了使用这些化合物进行氧化锡薄膜沉积的方法。这些薄膜表现出高一致性、高刻蚀选择性并具有光学透明性。这些化合物的化学式如下：Rx-Sn-A4-x，其中：A选自(YaR'z)和含有3至7个成员的含氮杂环基团的群；每个R基独立地选自具有1至10个碳原子的烷基或芳基群；每个R'基独立地选自具有1至10个碳原子的烷基、酰基或芳基群；x为0至4的整数；a为0至1的整数；Y选自N、O、S和P的群；z为1（当Y为O、S或Y不存在时）或z为2（当Y为N或P时）。
• MONOALKYL TIN COMPOUNDS WITH LOW POLYALKYL CONTAMINATION, THEIR COMPOSITIONS AND METHODS
  申请人：Inpria Corporation

  公开号：US20190315781A1

  公开（公告）日：2019-10-17

  A pure composition comprises a monoalkyltin trialkoxide compound represented by the chemical formula RSn(OR′) 3 or a monoalkyl tin triamide compound represented by the chemical formula RSn(NR′ 2 ) 3 and no more than 4 mole % dialkyltin compounds relative to the total tin amount, where R is a hydrocarbyl group with 1-31 carbon atoms, and wherein R′ is a hydrocarbyl group with 1-10 carbon atoms. Methods are described for the formation of the pure compositions. A solid composition comprises a monoalkyl triamido tin compound represented by the chemical formula RSn—(NR′COR″) 3 , where R is a hydrocarbyl group with 1-31 carbon atoms, and where R′ and R″ are independently a hydrocarbyl group with 1-10 carbon atoms. The compositions are suitable for the formation of resist compositions suitable for EUV patterning in which the compositions have a high EUV absorption.

  一种纯组合物包括由化学式RSn(OR′)3表示的单烷基锡三烷氧化物化合物，或者由化学式RSn(NR′2)3表示的单烷基锡三酰胺化合物，并且相对于总锡量不含超过4摩尔％的二烷基锡化合物，其中R是具有1-31个碳原子的烃基，其中R′是具有1-10个碳原子的烃基。描述了用于形成这种纯组合物的方法。一种固体组合物包括由化学式RSn—(NR′COR″)3表示的单烷基三酰胺基锡化合物，其中R是具有1-31个碳原子的烃基，其中R′和R″分别是具有1-10个碳原子的烃基。这些组合物适用于形成适用于EUV图案制作的抗蚀组合物，其中这些组合物具有高EUV吸收率。
• Reactions of group IVB compounds with acyl fluorides
  作者：Joel D. Citron

  DOI：10.1016/s0022-328x(00)82592-9

  日期：1971.7

  Derivatives of acyl fluorides can be readily prepared in high yields by reaction with Group IVB compounds. The reaction may be represented as where n=0-3, and, when M is Si, Y may be nitrogen, oxygen, sulfur, or halogen. When M is Ge or Sn the scope of the reaction is more limited, but oxygen and nitrogen derivatives may be prepared. These results are discussed on the basis of the energies of the bonds

  通过与IVB族化合物反应，可以容易地以高收率制备酰基氟的衍生物。该反应可以表示为其中n＝ 0-3，并且当M是Si时，Y可以是氮，氧，硫或卤素。当M为Ge或Sn时，反应的范围受到更大的限制，但是可以制备氧和氮的衍生物。这些结果是根据所涉及的键的能量进行讨论的。
• [EN] ORGANOMETALLIC COMPOUNDS FOR THE DEPOSITION OF HIGH PURITY TIN OXIDE AND DRY ETCHING OF THE TIN OXIDE FILMS AND DEPOSITION REACTORS<br/>[FR] COMPOSÉS ORGANOMÉTALLIQUES POUR LE DÉPÔT D'OXYDE D'ÉTAIN DE HAUTE PURETÉ, GRAVURE SÈCHE DES FILMS D'OXYDE D'ÉTAIN ET RÉACTEURS DE DÉPÔT
  申请人：SEASTAR CHEMICALS ULC

  公开号：WO2021038523A1

  公开（公告）日：2021-03-04

  Specific organometallic compounds of Formula I: Qx-Sn-(A1R1' z)4-x or Formula II: Sn(NR2(CH2)nA2)2 useful for the deposition of high purity tin oxide, as well as methods of using such compounds are disclosed. Also disclosed are compositions of organometallic compounds useful for the deposition of high purity tin oxide that in combination improve stability. Also disclosed are processes for dry etching tin oxide with a particular etchant gas and/or a process for dry etching a substrate using a particular etchant gas with a specific additive.

  公开了公式I的特定有机金属化合物：Qx-Sn-(A1R1' z)4-x或公式II：Sn(NR2(CH2)nA2)2，用于沉积高纯度氧化锡，以及使用这些化合物的方法。还公开了用于沉积高纯度氧化锡的有机金属化合物组合，组合改善稳定性。还公开了使用特定蚀刻气体干法蚀刻氧化锡的方法，以及使用特定添加剂和特定蚀刻气体干法蚀刻基板的方法。
• Cationic Brønsted Acids for the Preparation of Sn ^IV Salts: Synthesis and Characterisation of [Ph ₃ Sn(OEt ₂ )][H ₂ N{B(C ₆ F ₅ ) ₃ } ₂ ],[Sn(NMe ₂ ) ₃ (HNMe ₂ ) ₂ ][B(C ₆ F ₅ ) ₄ ] and [Me ₃ Sn(HNMe ₂ ) ₂ ][B(C ₆ F ₅ ) ₄ ]
  作者：Yann Sarazin、Simon J. Coles、David L. Hughes、Michael B. Hursthouse、Manfred Bochmann

  DOI：10.1002/ejic.200600397

  日期：2006.8

  Ph3SnN(SiMe3)(2) (1) was prepared in good yields by reaction of [NaN(SiMe3)(2)}(2)center dot THF] (2) with Ph3SnF. Treatment of 1 with [H(OEt2)(2)][H2NB(C6F5)(3)}(2)] (4) in dichloromethane afforded the stannylium cation [Ph3Sn(OEt2)][H2NB(C6F5)(3)}(2)] (5), which was characterised by H-1, C-13H-1}, B-11, F-19 and Sn-119 NMR spectroscopy. The reaction of Sn(NMe2)(4) with [Ph2MeNH][B(C6F5)(4)] (3) gave

  Ph3SnN(SiMe3)(2) (1) 通过 [NaN(SiMe3)(2)}(2) 中心点 THF] (2) 与 Ph3SnF 的反应以良好的产率制备。在二氯甲烷中用 [H(OEt2)(2)][H2NB(C6F5)(3)}(2)] (4) 处理 1 得到锡鎓阳离子 [Ph3Sn(OEt2)][H2NB(C6F5) (3)}(2)] (5)，其特征在于 H-1、C-13H-1}、B-11、F-19 和 Sn-119 NMR 光谱。Sn(NMe2)(4) 与 [Ph2MeNH][B(C6F5)(4)] (3) 反应得到酰胺基 (IV) 化合物 [Sn(NMe2)(3)(HNMe2)(2)][B (C6F5)4] (6) 证明其对配体取代非常稳定，并且抵抗 Et2O、THF、TMEDA 和吡嗪的处理。两种新的布朗斯台德酸盐 [H(NMe2H)(2)][B(C6F5)(4)] (7)。和