本发明属于光刻胶
树脂单体,公开了一种由
金刚烷酮合成的可降解
树脂单体,
树脂单体的结构式如下:其中,R1为连接键、烷基、环烷基、杂烷基或杂环烷基,R2为氢或甲基。其制备方法为:
金刚烷酮Ⅰ在强碱条件下与
乙炔反应,纯化得到中间体Ⅱ;中间体Ⅱ经还原反应,纯化得到中间体Ⅲ;中间体Ⅲ经酯化反应,纯化得到
树脂单体Ⅳ。本发明的
树脂单体中的叔丁酯基在酸性条件下断裂,即由
树脂单体组成的光刻胶在酸性条件下发生断裂,改变光刻胶在曝光前后的溶解度,改善光刻胶显影后图形的边缘粗糙度,提高光刻胶光刻图案的分辨率,且本发明
树脂单体的制备方法简单。