Durch Strahlung polymerisierbares Gemisch und daraus hergestelltes Aufzeichnungsmaterial
申请人:HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT
公开号:EP0370355A1
公开(公告)日:1990-05-30
Es wird ein durch Strahlung polymerisierbares Gemisch beschrieben, das eine radikalisch polymerisierbare Verbindung, einen Photoinitiator und ein alkalilösliches Bindemittel enthält, das ein Polymeres mit wiederkehrenden Einheiten der allgemeinen Formel I
ist, worin
R H, Halogen, Cyanid oder Alkyl ist,
R¹, R² und R³ H, Halogen, Alkyl, Alkoxy, Alkoxycarbonyl, Acyl, Aryloxy, Aroyl, Hydroxy oder Aralkyl bedeuten,
R⁴ H oder eine zweiwertige organische Gruppe ist, die mit einer weiteren Einheit der Formel I verknüpft ist, wobei im Mittel in mindestens 80 mol-% der Einheiten der Formel I R⁴ = H ist,
X eine kovalente Bindung, O, COO, CONR⁸, COOCH₂CHOHCH₂OCO, COOCH₂CH₂O oder COOCH₂CH₂OCO ist, worin R⁸ H, Alkyl oder Aryl bedeutet, und
A die zur Vervollständigung eines ein- oder zweikernigen carbo- oder heterocyclischen aromatischen Ringsystems erforderlichen Atome bedeutet.
Die Gemische ergeben Photoresists oder Druckplatten mit höherer Auflösung und besserer Flexibilität.
描述了一种可辐射聚合的混合物,它包括一种可自由基聚合的化合物、一种光引发剂和一种碱溶性粘合剂,后者是一种具有通式 I 重复单元的聚合物
其中
R 是 H、卤素、氰化物或烷基、
R¹、R² 和 R³ 是 H、卤素、烷基、烷氧基、烷氧羰基、酰基、芳氧基、芳基、羟基或芳烷基、
R⁴ 是 H 或与式 I 的另一个单元相连的二价有机基团,其中 R⁴ = H 的式 I 单元平均至少占 80 摩尔、
X 是共价键、O、COO、CONR⁸、COOCH₂CHOHCH₂OCO、COOCH₂CH₂O 或 COOCH₂CH₂OCO,其中 R⁸ 是 H、烷基或芳基,以及
A 表示完成单核或双核碳水化合物或杂环芳香环系统所需的原子。
这些混合物可制成分辨率更高、柔韧性更好的光刻胶或印版。