【課題】保存安定性に優れ、従来のアルカリ現像によるポジ型のパターン形成のみならず、有機溶剤現像におけるポジネガ反転の画像形成において、高溶解コントラスト、酸拡散制御、低ラフネスなどの諸特性が優れるフォトレジスト材料用単量体の製造方法の提供。【解決手段】塩基又は1A族金属、2A族金属、2B族金属から選ばれる金属を作用させて金属エノラート試薬を調製し、このエノラート試薬とアシロキシケトンを反応させる一般式(1)で示される単量体の製造方法。【選択図】なし
这是一篇描述制造用于光刻胶材料的单体的专利申请。
该单体具有优异的保存稳定性,不仅可用于传统的碱性显影形成正型图案,而且在有机溶剂显影中可用于形成正负反转的图像,具有高溶解度对比度、酸扩散控制和低粗糙度等特性。
制造该单体的方法是通过作用于
金属基或1A族、2A族、2B族
金属中选择的
金属,制备
金属烯醇试剂,并通过反应式(1)中所示的烯醇试剂和酰氧基酮反应来制造单体。
注:此为机翻结果,仅供参考。