本发明公开了一种由螺[5.5]
十一烷‑3,9‑二酮合成的光刻胶
树脂单体及其合成方法,属于
化学合成和光刻技术领域。该光刻胶
树脂单体的结构通式为:式中,R1为氢或者甲基,R2为饱和
烷烃或者环
烷烃,其合成方法包括以下步骤:在惰性气体保护下,将螺[5.5]
十一烷‑3,9‑二酮与烷基
格氏试剂或者环烷基
格氏试剂进行格氏反应,格氏反应结束后加
水淬灭,并经后处理纯化,得到中间体;将上述中间体与
丙烯酰氯或者
甲基丙烯酰氯进行酯化反应,酯化反应结束后,经后处理纯化,得到所述的光刻胶
树脂单体。本发明提供的
树脂单体为可降解型
树脂单体,含该光刻胶
树脂单体的聚合物
树脂具有更好的耐刻蚀性能且能够提高光刻胶光刻图案的分辨率。