본 발명은 화학-기계적 연마 슬러리용 실란 링커 화합물의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 (a) 산 화합물 및 용매를 교반하여 제1혼합물을 제조하는 단계; (b) 상기 제1혼합물에 아미노기 함유 실란 커플링제 및 촉매를 첨가하고 반응을 수행하여 제2혼합물을 제조하는 단계; 및 (c) 상기 제2혼합물에 포함된 용매를 제거하여 실란 링커 화합물을 수득하는 단계를 포함하는 실란 링커 화합물의 제조방법에 관한 것이다.
本发明涉及一种用于
化学-机械抛光的
硅烷偶联剂化合物的制备方法,更具体地涉及一种包括以下步骤的
硅烷偶联剂化合物的制备方法:
(a) 搅拌酸性化合物和溶剂以制备第一混合物的步骤;
(b) 向所述第一混合物中添加含
氨基的
硅烷偶联剂和催化剂并进行反应以制备第二混合物的步骤;以及
(c) 通过去除所述第二混合物中含有的溶剂以获得
硅烷偶联剂化合物的步骤。