本发明涉及通式I、IIa、lib和III化合物及其制造方法,其中Ar1为取代的邻亚芳基、邻亚杂芳基;Ar2为以各种方式连接的双邻亚芳基、双邻亚杂芳基;X为O、S、NR19;Y1为O、S、NR20、BR20、CR15R16、SiR15R16、S=O、C=O;Z1为直键、C1-C10亚烷基、亚芳基;R1,R15,R16,R18,R19,R20,各自分别为氢原子、烷基或烷氧基、被任意基团取代的烷基或烷氧基、环烷基、被任意基团取代的芳基、酰基;本发明还涉及以通式I、IIa、lIb和III化合物作为光
引发剂的光固化组合物,该组合物用于制备光阻器件例如显示屏用彩色滤光片时显示了非常优良的综合性能。