本发明公开了一种由
羧酸化合物合成的光刻胶
树脂单体及其合成方法,属于
化学合成及光刻材料领域。该
树脂单体的结构通式为:式中,R为直链或支链烷基。该
树脂单体的合成方法为:将
乙烯基醚
醇类化合物与
丙烯酸类化合物经酯化反应反应得到中间体;将中间体与2,5‑二氧代
双环[2.2.2]辛烷‑1,4‑二
羧酸进行反应生成所述光刻胶
树脂单体。本发明的
树脂单体包括
缩醛结构和多环、多酯结构,其能够防止光致产酸剂的扩散,改善边缘粗糙度,增加对比度,提高分辨率,具有优异的耐刻蚀性和脂溶性,且其制备方法简单方便。