【課題】良好なCD均一性のレジストパターンを製造することができる塩及びレジスト組成物を提供する。【解決手段】式(I)で表される塩。[式(I)中、Q1及びQ2は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数1〜6のペルフルオロアルキル基を表す。Lb1は、炭素数1〜24の2価の飽和炭化水素基を表す。Aは、環を構成する構造として−S−CO−を有する炭素数2〜36の複素環基を表す。該複素環基の水素原子はハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1〜12の飽和炭化水素基、炭素数6〜24の芳香族炭化水素基、炭素数1〜12のアルコキシ基、炭素数2〜4のアシル基又は炭素数2〜4のアシルオキシ基で置換されていてもよい。Z+は、有機対イオンを表す。]【選択図】なし
提供可以制造良好CD均一性的盐和光刻胶组合物。盐由式(I)表示。在式(I)中,Q1和Q2分别独立表示
氟原子或含有1-6个碳原子的
全氟烷基。Lb1表示含有1-24个碳原子的二价饱和烷基。A表示构成环的结构,是含有2-36个碳原子的复杂环基,该复杂环基的氢原子可以被卤原子、羟基、含有1-12个碳原子的饱和烷基、含有6-24个碳原子的芳香族烷基、含有1-12个碳原子的烷氧基、含有2-4个碳原子的酰基或含有2-4个碳原子的酰氧基取代。Z+表示有机阳离子。【选择图】无