四(二甲氨基)钛在常温下为液体,对空气和水汽非常敏感,能溶于醇类、苯、四氯化碳等有机溶剂中。该化合物不仅具有较好的稳定性及较高的蒸汽压,还表现出相当高的反应性。
四(二甲氨基)钛因其良好的稳定性和高蒸汽压,以及显著的反应性,在当前ALD研究领域备受关注。