【課題】良好なCD均一性(CDU)を有するレジストパターンを製造できる化合物、樹脂及びレジスト組成物の提供。【解決手段】式(I)で表される化合物。[式(I)中、R1は、水素原子又はメチル基を表す。R2は、炭素数4〜8の直鎖又は分岐のアルキル基を表す。R3は、炭素数1〜8のアルキル基を表す。mは、0〜6のいずれかの整数を表す。nは、0又は1を表す。]【選択図】なし
【问题】提供能够制造具有良好CD均一性(CDU)的光阻图案的化合物、
树脂和光阻组合物。
【解决方案】化合物由式(I)表示。[在式(I)中,R1表示氢原子或甲基基团。R2表示具有4-8个碳原子的直链或分支烷基。R3表示具有1-8个碳原子的烷基。m表示0-6之间的任何整数。n表示0或1。]【选择图】无。