【課題】良好なCD均一性を有するレジストパターンを製造できる塩の提供。【解決手段】下式で表される塩。[Q1及びQ2は、それぞれ独立にフッ素原子等を表す。R1及びR2は、それぞれ独立に水素原子等を表す。zは、0〜6のいずれかの整数を表し、zが2以上のとき、複数のR1及びR2は互いに同一であっても異なってもよい。X1は、*−CO−O−等を表す。(但し、*は、C(R1)(R2)又はC(Q1)(Q2)との結合手を表す。)X2は、−O−又は単結合を表す。L1は、フッ素原子を有する炭素数1〜36の2価の炭化水素基等を表す。R3は、炭素数1〜12のフッ素化アルキル基を表す。Z+は、有機カチオンを表す。]【選択図】なし
提供具有良好CD均一性的盐的制备方法。该盐由以下式表示:[Q1和Q2分别独立表示
氟原子等。R1和R2分别独立表示氢原子等。z表示0~6之间的任何整数,当z大于等于2时,多个R1和R2可以相同也可以不同。X1表示*−CO−O−等(其中,*表示与C(R1)(R2)或C(Q1)(Q2)结合的手段。)X2表示−O−或单键。L1表示具有含
氟碳原子数为1~36的二价碳氢基等。R3表示含有1~12个碳原子的
氟化烷基。Z+表示有机阳离子。]【选择图】无