【課題】良好なCD均一性(CDU)でレジストパターンを製造することができる塩及び該塩を含むレジスト組成物を提供する。【解決手段】式(aa)で表される基を有する塩[式(aa)中、X1は、炭素数1〜6のアルカントリイル基を表す。  Xa及びXbは、それぞれ独立に、酸素原子又は硫黄原子を表す。  環Wは、少なくとも1つの置換基を有する炭素数3〜36の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる−CH2−は、−O−、−S−、−CO−又は−SO2−で置換されていてもよい。  *は、結合手を表す。]。【選択図】なし
                            提供包含盐和所述盐的光致变色剂组合物,可用于制备具有良好CD均一性(CDU)的感光胶图案。所述盐具有由式(aa)表示的基[在式(aa)中,X1表示碳数为1〜6的烷基。Xa和Xb各自独立地表示氧原子或
硫原子。环W表示具有至少一个取代基的碳数为3〜36的脂
环烃基,所述脂
环烃基中的−
CH2−可以被−O−、−S−、−CO−或−SO2−取代。*表示键。]。【选择图】无