为了寻找适用于 MOCVD/ALD 工艺的新 Pd 前驱体,扩展系列的
氟化钯配合物 [Pd(CH 3 CXCHCO(R)) 2 ] 与
β-二酮 [tfa-1,1,1-trifluoro-2,4 -
戊二酮 ( 1 ); pfpa-5,5,6,6,6-五
氟-
2,4-己二酮(3);hfba−5,5,6,6,7,7,7-heptafluoro-2,4-heptanedionato ( 5 )] 和 β-
亚胺酮 [i-tfa−1,1,1-trifluoro-2-imino-
4-戊酸 ( 2 ); i-pfpa-5,5,6,6,6-pentafluoro-2-imino-4-hexanoto ( 4 ); i-hfba-5,5,6,6,7,7,7-heptafluoro-2-imino-4-heptanonato ( 6)]
配体以 70-80% 的产率合成,并通过一组实验 (SXRD、XRD、IR、NMR