本发明涉及一种扩散泵油中间体三甲基‑R‑四乙氧基三
硅氧烷的合成方法。包括如下步骤:步骤一,将甲基‑R‑
硅烷二醇、
吡啶和
甲苯混合,得到混合物1;步骤二,然将甲基二乙氧基
氯硅烷、缚酸剂和
甲苯组混合,得到混合物2;步骤三,将混合物1缓慢滴加入混合物2中,并不断搅拌,且整个滴加过程在冰
水浴中进行;步骤四,滴毕,撤去冰
水浴,使反应混合物在室温下继续搅拌2小时;步骤五,将反应混合物转移到分液漏斗,用去离子
水反复洗涤混合物溶液;旋转蒸发除去
甲苯,并将残余物真空蒸馏,彻底去除低沸物,得到三甲基‑R‑四乙氧基三
硅氧烷。本发明提供的方法具有大幅度提高该种关键中间体的产率与纯度,从而达到提高最终产品扩散泵油纯度的目的。