在原子层沉积和
化学气相沉积中,许多含
钼薄膜的气相沉积依赖于具有一般双(叔丁基亚
氨基)
钼(VI)骨架的挥发性化合物的传递。我们使用中性N , N '-螯合物制备了一系列 ( t BuN) 2 MoCl 2加合物,并研究了它们的挥发性、热稳定性和分解途径。挥发性已通过热重分析确定,其中 1,4-二叔丁基-1,3-二氮杂
丁二烯加合物 ( 5) 被发现是最易挥发的(135 °C 时蒸汽压为 1 托)。热稳定性主要使用差示扫描量热法测量,发现 1,10-
菲咯啉加合物 ( 4 ) 在 303 °C 开始分解时最稳定。我们还研究了具有其他烷基取代亚
氨基的
钼化合物:这些化合物都遵循类似的分解途径,即 γ-H 活化,具有不同的反应势垒。系统地研究了叔戊基、1-
金刚烷基和环状亚
氨基(来自 
2,5-二甲基己烷-2,5-二胺)以探测该途径的动力学。所有这些化合物都已得到充分表征,包括通过单晶 X 射线衍射,共报道了