본 발명의 실시예에 의하면, 유기 주석 화합물은 하기 화학식 1로 표시되고, 이는 주석 함유 박막 증착 시 전구체로 사용되어 고품질의 주석 함유 박막을 제공한다. [화학식 1] 상기 화학식 1에서, R 1 내지 R 4 는 각각 독립적으로 탄소수 1 내지 6의 선형 알킬기 또는 탄소수 3 내지 6의 분지형 알킬기이다.
根据本发明的实施例,
有机锡化合物由下式1表示,其在制备含
锡薄膜时作为前驱体使用,从而提供高质量的含
锡薄膜。
[式1]
在上述式1中,R1至R4各自独立地表示具有1至6个碳原子的直链烷基或具有3至6个碳原子的支链烷基。