【課題】良好なCD均一性(CDU)を有するレジストパターンを製造することができる化合物、樹脂及びこれを含むレジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】式(I)で表される化合物、樹脂及びこれを含むレジスト組成物。[式中、R1は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基等を表す。L1は単結合又はアルカンジイル基を表す。A1は置換基を有してもよい脂環式炭化水素基を表す。Lcは単結合又はアルカンジイル基を表す。X1、X2及びX3は、それぞれ独立に、*−CO−O−等を表す。L2は置換基を有してもよい炭化水素基を表す。A2はアルカンジイル基を表す。R3は、置換基を有してもよい炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる−CH2−は、−O−、−S−、−SO2−又は−CO−に置き換わっていてもよい。]【選択図】なし
                            这是一段关于制造具有良好CD均一性(CDU)的光刻胶图案的化合物、
树脂以及包含它们的光刻胶组合物的描述。【解决方案】包括由式(I)表示的化合物、
树脂以及包含它们的光刻胶组合物。【式中,R1代表氢原子、卤素原子、烷基等。L1代表单键或脂基。A1代表可能带有取代基的脂
环烃基。Lc代表单键或脂基。X1、X2和X3分别独立地表示*−CO−O−等。
L2代表可能带有取代基的烃基。A2代表脂基。R3代表可能带有取代基的烃基,其中包含的−
CH2−可以被替换为−O−、−S−、−SO2−或−CO−。】【选择图】无