本文讨论了与薄膜和多层箔有关的蠕变变形。我们首先回顾了用于研究薄膜几何形态下蠕变变形的实验技术,列出了每种技术的优缺点;然后我们讨论了使用变形机制图来记录和理解观察到的蠕变行为。我们包括了一些关于微观结构稳定性、零蠕变应力和瞬态蠕变应变对应力-应变率关系的影响的警告性言论,最后回顾了目前关于薄膜蠕变变形的知识状态。这既包括在基板上加热的薄膜,也包括作为自由箔进行测试的多层膜。