证明了通过
金属有机
化学气相沉积 (MOCVD) 制备的 InSbTe
硫属化物材料用于相变存储器 (PR
AM) 应用的可行性。在 225°C 以下生长的薄膜呈现出非晶结构,而在 300°C 下生长的薄膜包括各种晶相,例如 In-Sb-Te、In-Sb、In-Te 和 Sb-Te。在 225°C 生长的非晶薄膜的成分取决于工作压力。225℃下生长的薄膜形态光滑,均方根粗糙度小于1 nm,在纵横比为5:1的沟槽结构上生长的薄膜阶梯覆盖率大于90%。沉积时间的增加提高了填充率,同时保持了共形阶梯覆盖。