两种类型的 FNO 化合物(FNO 和 F 3 NO)被评估为新
化学气相沉积 (CVD) 室清洁气体的候选气体。测量NF 3 和C 2 F 6 作为参考。与 NF 3 一样,由于这些气体的分子中不含碳,因此认为不会排放
全氟化碳 (PFC)。FNO 是一种极易
水解的化合物。预计 F 3 ND 在大气中比 NF 3 更容易分解,因为它的 NF 键已通过将 N=O 键引入分子中而减弱。因此,预计这些化合物对全球变暖的贡献很小。这些气体的性能是通过测量它们的蚀刻速率和它们的废气来评估的。结果表明,F 3 NO 的蚀刻速率实际上与NF 3 的蚀刻速率相同,而FNO 的蚀刻速率约为NF 3 的1/2。然而,