五种不同的均质
镓配合物与
丙二酸二酯阴离子 [Ga(ROCOCHOCOR)3] [R = Me (1), Et (2), iPr (3), tBu (4) 和 SiMe3 (5)] 已被合成并表征为1H 和 13C NMR、IR 光谱、电子电离质谱 (EI-MS) 和单晶 X 射线衍射。通过热重研究评估所得化合物的热性能,以评估它们作为
Ga2O3 薄膜的
金属有机
化学气相沉积 (MOCVD) 前体的适用性。鉴于该前体的有前途的特征,从化合物 2 开始对 薄膜进行 MOCVD。沉积后的层是非晶态的,在 1000 °C 异位退火后可以转变为单斜晶 β- 相。通过扫描电子显微镜(
SEM)研究薄膜形貌,并通过能量色散X射线光谱(EDXS)和X射线光电子能谱(XPS)研究其组成。获得了几乎
化学计量的 薄膜,碳含量低。(© Wiley-
VCH Verlag GmbH &