In wässrigem Alkali lösliche, Silanylgruppen in der Seitenkette enthaltende Bindemittel, Verfahren zu deren Herstellung sowie lichtempfindliches Gemisch, enthaltend diese Verbindungen
申请人:HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT
公开号:EP0337188A1
公开(公告)日:1989-10-18
Es wird ein aliphatische und/oder aromatische Hydroxylgruppen tragendes Bindemittel beschrieben, das in Alkali löslich, zumindest aber quellbar ist und in der Seitenkette Einheiten der allgemeinen Formeln I und II enthält
und
worin
A eine Silanylgruppe mit mindestens 2 miteinander verknüpften Siliciumatomen insgesamt, aber nicht mehr als 3 miteinander verknüpften Siliciumatomen in einer unverzweigten Kette aus Siliciumatomen,
B eine Brückengruppe und
C eine funktionelle Gruppe, die mit aromatischen und/oder aliphatischen bzw. cycloaliphatischen Hydroxylgruppen des Bindemittels und/oder der Gruppen D und/oder E eine kovalente Bindung ausgebildet hat,
D einen ein- oder mehrwertigen aliphatischen bzw. cycloaliphatischen Alkohol und
E einen ein- oder mehrwertigen aromatischen Alkohol, die ggf. über mindestens einer ihrer Hydroxylfunktionen eine Bindung zur Gruppe C der Funktionseinheit (A-Bn)mC hergestellt haben, sowie
n 0 oder 1,
m 1 oder 2 und
o, p, u und v 0 oder 1
bedeuten.
Die dieses Bindemittel enthaltenden lichtempfindlichen Gemische sind plasmaätzbeständig und lagerstabil und weisen eine hohe Wärmestabilität auf.
所述脂肪族和/或芳香族羟基粘合剂可溶于碱,或至少可溶于碱,其侧链中含有通式 I 和 II 的单元
和
其中
A 是硅烷基,在未支链的硅原子链中至少有 2 个硅原子相连,但不超过 3 个硅原子相连、
B 是桥基,以及
C 与粘合剂和/或 D 和/或 E 的芳香族和/或脂肪族或环脂族羟基形成共价键的官能团、
D 是一元或多元脂肪族或环脂肪族醇,和
E 是一元或多元芳香醇,可通过至少一个羟基官能团与官能团单元 (A-Bn)mC 的基团 C 形成键合,且
n 为 0 或 1、
m 1 或 2,以及
o、p、u 和 v 为 0 或 1
意思是
含有这种粘合剂的光敏混合物具有耐等离子蚀刻性、储存稳定性和较高的热稳定性。