1,1,3,3-tetramethoxydisilazane | 1612758-29-8

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机氧化合物
• 英文名称: 1,1,3,3-tetramethoxydisilazane
• 英文别名: [(dimethoxysilylamino)-methoxysilyl]oxymethane
• CAS: 1612758-29-8
• 化学式: C₄H₁₅NO₄Si₂
• 分子量: 197.338
• InChiKey: PPZHNJOKFNZNLJ-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  -1.4
• 重原子数：
  11
• 可旋转键数：
  6
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  49
• 氢给体数：
  1
• 氢受体数：
  5

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  chlorodimethoxysilane 、 1,1,3,3-tetramethoxydisilazane 在 盐酸 、 三氯硅烷 、 氮 、 氨 、 三乙胺 作用下， 以 甲醇 、 正己烷 为溶剂， 生成 tris(dimethoxysilyl)amine
  参考文献：
  名称：

  Alkoxysilylamine compounds and applications thereof

  摘要：

  公开号：

  EP2743272B1

文献信息

• ALKOXYSILYLAMINE COMPOUNDS AND APPLICATIONS THEREOF
  申请人：AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.

  公开号：US20140158580A1

  公开（公告）日：2014-06-12

  Described herein are alkoxysilylamine precursors having the following Formulae A and B: wherein R 1 and R 4 are independently selected from a linear or branched C 1 to C 10 alkyl group, a C 3 to C 12 alkenyl group, a C 3 to C 12 alkynyl group, a C 4 to C 10 cyclic alkyl group, and a C 6 to C 10 aryl group and wherein R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , and R 6 are independently selected from the group consisting of hydrogen, a linear or branched C 1 to C 10 alkyl group, a C 2 to C 12 alkenyl group, a C 2 to C 12 alkynyl group, a C 4 to C 10 cyclic alkyl, a C 6 to C 10 aryl group, and a linear or branched C 1 to C 10 alkoxy group. Also described herein are deposition processes using at least one precursor have Formulae A and/or B described herein.

  本文描述了具有以下A和B公式的烷氧基硅胺前体： 其中R1和R4分别选择自线性或支链C1至C10烷基，C3至C12烯基，C3至C12炔基，C4至C10环烷基和C6至C10芳基，而R2、R3、R4、R5和R6分别选择自氢、线性或支链C1至C10烷基，C2至C12烯基，C2至C12炔基，C4至C10环烷基，C6至C10芳基和线性或支链C1至C10烷氧基的群。本文还描述了使用至少一种具有本文所述A和/或B公式的前体的沉积过程。