【課題】良好なラインエッジラフネスでレジストパターンを製造することができる塩、酸発生剤、樹脂及びレジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】式(I)で表される塩。[式中、Q1及びQ2は、それぞれ、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基を表す。R1及びR2は、それぞれ、水素原子、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基を表す。zは、0〜6の整数を表す。X1は、*−CO−O−、*−O−CO−、*−O−CO−O−又は*−O−を表す。L1は、単結合又は置換基を有していてもよい2価の炭化水素基を表す。Arは、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素基を表す。R3は炭化水素基を表す。R4は、水素原子又は炭化水素基を表す。R5は、水素原子又はメチル基を表す。ZI+は有機カチオンを表す。]【選択図】なし
这段文本描述了提供一种可以制造具有良好线条边缘粗糙度的光刻图案的盐、酸发生剂、
树脂和光刻胶组合物的目的。其中包括由式(I)表示的盐。在式中,Q1和Q2分别表示
氟原子或
全氟烷基,R1和R2分别表示氢原子、
氟原子或
全氟烷基,z表示0〜6的整数,X1表示*−CO−O−、*−O−CO−、*−O−CO−O−或*−O−,L1表示具有单键或取代基的二价碳氢基,Ar表示具有取代基的芳香族碳氢基,R3表示碳氢基,R4表示氢原子或碳氢基,R5表示氢原子或甲基基团,ZI+表示有机阳离子。