products resulting from their thermal decomposition, indicated the potential of the homoleptic species as exquisite single source precursors to ZrO2 at moderate temperatures. The compound bearing both N- and C-iso-propyl substituents was, thus, applied as a true single source precursor under ambient pressure AACVD conditions. The resultant films, deposited on either SiO2-coated glass or quartz substrates
                                    我们报告了一种真正的单一来源的前体(即不需要任何外部
氧气源)的开发,该过程使用原始的
锆(IV)酰胺化物衍
生物族通过气溶胶辅助
化学气相沉积(
AACVD)来生长
氧化锆薄膜。,可通过用游离酰胺原
配体对[Zr(NMe 2)4 ]进行质子分解来轻松制备。除一种情况外,所有反应均导致分离出相应的均配八坐标
锆(IV)四(酰胺)衍
生物。这些物种中的三个连同三(酰胺)二甲基酰胺基
锆(IV)衍
生物已通过单晶X射线衍射分析进行了表征。通过应用设计标准确定了均化化合物的材料潜力,该设计标准是从考虑到与全有机酰胺热解有关的现有知识库中得出的。以这种方式,均化衍
生物的热分解得益于容易的,分子施加的热解途径,这提供了挥发性小分子副产物的优先产生和无污染物的固体氧化物材料的生产。热重分析,再结合由其热分解产生的挥发性产物的NMR光谱分析,表明匀浆物质具有作为ZrO 2的精致单一来源前体的潜力在中等温度下。因此,在环境压力